[发明专利]一种半导体组件的烧结装置及烧结方法有效
申请号: | 201711339236.8 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN108110609B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 吕妮娜;徐红春;刘成刚;杨智;范俊 | 申请(专利权)人: | 武汉电信器件有限公司 |
主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024;H01S5/022 |
代理公司: | 深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙) 44341 | 代理人: | 何婷 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 组件 烧结 装置 方法 | ||
1.一种半导体组件的烧结装置,包括上盖板(1)和下底板(2),其特征在于,下底板(2)上对应半导体壳体(3)设置有限位槽(21),限位槽(21)用于固定半导体壳体(3)位置;限位槽(21)内设置有第一限位块(41)和第二限位块(42);第一限位块(41)对应第一烧结组件(51)设置,用于固定第一烧结组件(51)在半导体壳体(3)内的位置;第二限位块(42)对应第二烧结组件(52)设置,第二烧结组件(52)和第二限位块(42)设置在第一烧结组件(51)上,第二限位块(42)用于固定第二烧结组件(52)的位置;上盖板(1)为配合下底板(2)盖合设置,上盖板(1)对应限位槽(21)区域安装有与各烧结组件对应的压力针,并且配合各压力针设置有压力针孔;对应第一烧结组件(51)设置至少一个压力针,并且贯穿匹配的压力针孔压装于第一烧结组件(51)上;对应第二烧结组件(52)设置至少一个压力针,并且贯穿匹配的压力针孔,压装在第二烧结组件(52)表面上;
所述第一烧结组件(51)为制冷器,第二烧结组件(52)为过渡块;对应制冷器设置第一压力针(61)和第二压力针(62),并且设置匹配安装的第一压力针孔(71)和第二压力针孔(72);对应过渡块设置第三压力针(63)和第四压力针(64),并且设置匹配安装的第三压力针孔(73)和第四压力针孔(74);所述第一压力针(61)和第二压力针(62)分别贯穿第一压力针孔(71)和第二压力针孔(72),压装于第一烧结组件(51)的下底面和上表面上;所述第三压力针(63)和第四压力针(64)分别贯穿第三压力针孔(73)和第四压力针孔(74),压装于第二烧结组件(52)上表面的两侧;
所述第一压力针(61)的重量范围为1g~5g;第二压力针(62)的重量范围为1g~4g;第三压力针(63)的重量范围为1g~5g;第四压力针(64)的重量范围为1g~5g;
对应每个位置分别设置多根不同重量的压力针,以1g为间隔单位,将第一压力针(61)安装位置分别设置重量分别为1g、2g、3g、4g、5g共五根待选压力针。
2.根据权利要求1所述的半导体组件的烧结装置,其特征在于,当需要对第三烧结组件(53)进行烧结时,所述限位槽(21)内对应第三烧结组件(53)还设置有第三限位块(43);对应第三烧结组件(53)还设置有至少一个压力针(65),对应压力针(65)在上盖板(1)上设置有压力针孔(75);第三限位块(43)用于固定第三烧结组件(53)的位置,第三烧结组件(53)和第三限位块(43)共同安装在第二烧结组件(52)上;压力针(65)贯穿压力针孔(75),压装在第三烧结组件(53)上。
3.根据权利要求2所述的半导体组件的烧结装置,其特征在于,该装置内还设置有压块(8),压块(8)对应第三烧结组件(53)设置,并压装在第三烧结组件(53)上;所述压块(8)底面四角上设置有立柱,立柱对应第三烧结组件(53)的可接触区域设置;对应压块(8)在上盖板(1)内设置有第六压力针(66)和第六压力针孔(76),所述第六压力针(66)贯穿第六压力针孔(76)后,压装在压块(8)上。
4.根据权利要求2所述的半导体组件的烧结装置,其特征在于,对应半导体壳体(3)设置有壳体限位块(44),以配合多种形状的半导体壳体(3)使用,实现不同形状的半导体壳体(3)在限位槽(21)内稳固安装。
5.根据权利要求1所述的半导体组件的烧结装置,其特征在于,上盖板(1)上靠近四周边缘的区域设置有安装孔(92),对应安装孔(92)在下底板(2)上设置有安装杆(91),上盖板(1)通过将安装杆(91)插入安装孔(92)内,从而实现上盖板(1)和下底板(2)的紧固安装。
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