[发明专利]一种玻璃基板蚀刻液

权利要求书

1.一种玻璃基板蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：NaF:10-15％，NH₄F:10-15％，盐酸:1-5％，醋酸:5-10％，磺酸:5-10％，乙二胺四乙酸(EDTA):1-5％，表面活性剂:1-2％，硝酸盐:1-5％，硫酸盐:1-5％，及余量的水。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻液，其特征在于：所述磺酸为甲基磺酸或三氟甲磺酸。

3.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻液，其特征在于：所述硝酸盐为NaNO₃或KNO₃。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻液，其特征在于：所述硫酸盐为Na₂SO₄。

5.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻液，其特征在于：所述表面活性剂为烷基硫酸钠、烷基聚氧乙烯醚硫酸钠、脂肪酸钠、烷基磺酸钠、脂肪醇硫酸钠中的一种或几种。

6.根据权利要求1-5任一项所述的玻璃基板蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下步骤的制备方法制备得到：

(1)将NaF、NH₄F、乙二胺四乙酸(EDTA)、硫酸盐、硝酸盐加入水中，搅拌使其完全溶解；

(2)将盐酸、醋酸和磺酸混合后加入步骤(1)得到的水溶液中稀释；

(3)然后将表面活性剂加入步骤(2)得到的溶液中，搅拌均匀。