[发明专利]一种玻璃基板蚀刻液

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板减薄生产技术领域，尤其是涉及一种玻璃基板蚀刻液。

背景技术

平板显示领域中，包括等离子体显示、触摸屏、液晶显示等制备工艺过程中，为了进一步减轻显示器件的重量，生产厂家越来越多的采用将玻璃基板进行减薄的方法。玻璃基板减薄的方法通常有两种，一种是物理抛光研磨，另一种是化学蚀刻减薄，其中，化学蚀刻减薄是最为广泛应用的。目前，所使用的减薄蚀刻液基板采用的都是以氢氟酸为主要成分，但氢氟酸的毒性大、易挥发，尤其是在配置时需采用较高的温度和浓度，不仅生产过程中危险性高，而且会对环境造成巨大污染。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种玻璃基板蚀刻液，通过优化配方，由氟化物提供F^-，盐酸、醋酸、磺酸提供H⁺，同样达到了蚀刻玻璃的效果，还避免使用氢氟酸。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种玻璃基板蚀刻液，该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：NaF:10-15％，NH₄F:10-15％，盐酸:1-5％，醋酸:5-10％，磺酸:5-10％，乙二胺四乙酸(EDTA):1-5％，表面活性剂:1-2％，硝酸盐:1-5％，硫酸盐:1-5％，及余量的水。

进一步，所述磺酸为甲基磺酸或三氟甲磺酸。

进一步，所述硝酸盐为NaNO₃或KNO₃。

进一步，所述硫酸盐为Na₂SO₄。

进一步，所述表面活性剂为烷基硫酸钠、烷基聚氧乙烯醚硫酸钠、脂肪酸钠、烷基磺酸钠、脂肪醇硫酸钠中的一种或几种。

进一步，该蚀刻液由包括如下步骤的制备方法制备得到：

(1)将NaF、NH₄F、乙二胺四乙酸(EDTA)、硫酸盐、硝酸盐加入水中，搅拌使其完全溶解；

(2)将盐酸、醋酸和磺酸混合后加入步骤(1)得到的水溶液中稀释；

(3)然后将表面活性剂加入步骤(2)得到的溶液中，搅拌均匀。

相对于现有技术，本发明所述的玻璃基板蚀刻液具有以下优势：

本发明所述的玻璃基板蚀刻液设计了全新的蚀刻液配方，采用NaF和NH₄F，同时添加盐酸、醋酸和磺酸，在水溶液中，也可以得到蚀刻所需要的F^-和H⁺，整个反应中不含氢氟酸，大大降低了蚀刻液的毒性，生产员工操作更加安全可靠；醋酸和磺酸属于弱酸，能够减缓反应速度，既满足了蚀刻要求又避免了蚀刻速度过快影响基材表面结构的问题；乙二胺四乙酸(EDTA)是良好的金属螯合剂，能够与蚀刻时产生的金属离子形成螯合物，更容易被水溶解，从而解决了时刻过程中副产物难溶的问题，避免产物附着在玻璃基板表面，提高了蚀刻速率和蚀刻效果；表面活性剂也能够对玻璃表面起到清洁的作用；硫酸盐和硝酸盐能够提供硫酸根和硝酸根，在溶液中存在H⁺的情况下，起到硫酸和硝酸的效果，能够溶解生产物和玻璃中的其他成分。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面将结合实施例来详细说明本发明。

实施例1

一种玻璃基板蚀刻液，该蚀刻液由包括如表1所示的重量百分比的原料制备得到：

表1 实施例1的蚀刻液的配方

实施例2

一种玻璃基板蚀刻液，该蚀刻液由包括如表2所示的重量百分比的原料制备得到：

表2 实施例2的蚀刻液的配方

实施例3

一种玻璃基板蚀刻液，该蚀刻液由包括如表3所示的重量百分比的原料制备得到：

表3 实施例3的蚀刻液的配方

实施例4

一种玻璃基板蚀刻液，该蚀刻液由包括如表4所示的重量百分比的原料制备得到：

表4 实施例4的蚀刻液的配方

实施例1-4所述的玻璃基板蚀刻液由包括如下步骤的制备方法制备得到：

(1)将NaF、NH₄F、乙二胺四乙酸(EDTA)、硫酸盐、硝酸盐加入水中，搅拌使其完全溶解；

(2)将盐酸、醋酸和磺酸混合后加入步骤(1)得到的水溶液中稀释；