[发明专利]感测单元及其制造方法有效
申请号: | 201711364304.6 | 申请日: | 2017-12-18 |
公开(公告)号: | CN108010969B | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 谢昊伦;陈敬文;黄明益;黄仲钦 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0203 | 分类号: | H01L31/0203;H01L31/08;H01L31/18 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;鲍俊萍 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单元 及其 制造 方法 | ||
一种感测单元,包括第一绝缘层、感光元件、二极管元件和发光元件。感光元件设置于第一绝缘层上。感光元件包括第一下电极、感测层和第一上电极。第一下电极位于第一绝缘层上。二极管元件设置于第一绝缘层上。二极管元件包括第二下电极、半导体层和第二上电极。第二下电极位于第一绝缘层上。发光元件设置于感光元件上方。发光元件包括第三下电极、发光层和第三上电极。二极管元件的第二下电极和第二上电极二者之中作为阳极者和作为阴极者,分别电性耦接至发光元件的第三下电极和第三上电极二者之中作为阴极者和作为阳极者。
技术领域
本发明是关于一种感测单元及其制造方法。
背景技术
指纹是极佳的生物辨识密码,具有独特性。随着设备与辨识技术逐渐变得成熟及普遍,除了个人证件、金融系统的身分认证、居家防护的进出管制、和其他需要高度管制进出的场所之外,也开始应用在个人电子产品,如个人计算机,的辨识登入和随身碟的加密功能。近年来,更是广泛地应用于行动装置上。举例来说,目前常见的作法是于行动装置上额外设置指纹辨识器。另外,也有关于直接将指纹辨识技术整合于行动装置的显示屏幕上的作法。如何简化指纹辨识技术工艺并降低成本,乃业界所致力的课题之一。
发明内容
本发明提供一种感测单元及其制造方法。此种感测单元特别是可应用于指纹辨识。
根据一些实施例,感测单元包括一基板、一读取元件、一第一绝缘层、一感光元件、一二极管元件、一保护层以及一发光元件。读取元件位于基板之上。第一绝缘层位于基板之上。感光元件设置于第一绝缘层上。感光元件包括一第一下电极、一感测层和一第一上电极。第一下电极位于第一绝缘层上并且与读取元件电性连接。感测层位于第一下电极上。第一上电极位于感测层上。二极管元件设置于第一绝缘层上。二极管元件包括一第二下电极、一半导体层和一第二上电极。第二下电极位于第一绝缘层上。半导体层位于第二下电极上。第二上电极位于半导体层上。保护层设置于读取元件、感光元件以及二极管元件上。发光元件设置于感光元件上方。发光元件包括一第三下电极、一发光层和一第三上电极。发光层位于第三下电极上。第三上电极位于发光层上。二极管元件的第二下电极和第二上电极二者之中作为阳极者,系电性耦接至发光元件的第三下电极和第三上电极二者之中作为阴极者,并且二极管元件的第二下电极和第二上电极二者之中作为阴极者,系电性耦接至发光元件的第三下电极和第三上电极二者之中作为阳极者。
根据一些实施例,感测单元的制造方法包括下列步骤。首先,在一基板上形成一栅极。于基板上形成一绝缘材料层,其中绝缘材料层包含一第一绝缘层以及与第一绝缘层连接的一栅极绝缘层,栅极绝缘层覆盖栅极。于栅极绝缘层上形成一通道层。于第一绝缘层以与门极绝缘层上形成一第一图案化导电层。第一图案化导电层包含一源极、一漏极、一第一下电极以及一第二下电极,其中源极和漏极对应设置于通道层的两侧。于第一下电极上形成一感测层,并于第二下电极上形成一半导体层。于第一图案化导电层上形成一第二绝缘层。于感测层和半导体层上形成一第二图案化导电层。第二图案化导电层包含形成于感测层上的一第一上电极以及形成于半导体层上的一第二上电极。于第一上电极与第二上电极之上形成一第三绝缘层。于第三绝缘层上形成一第三下电极。于第三下电极上形成一发光层。于第三绝缘层上形成一第四绝缘层。接着,在发光层上形成一第三上电极。第四绝缘层位于第三下电极与第三上电极之间。第一下电极、感测层和第一上电极构成一感光元件,第二下电极、半导体层和第二上电极构成一二极管元件,第三下电极、发光层和第三上电极构成一发光元件,其中发光元件系对应设置于感光元件的上方。二极管元件的第二下电极和第二上电极二者之中作为阳极者,系电性耦接至发光元件的第三下电极和第三上电极二者之中作为阴极者,并且二极管元件的第二下电极和第二上电极二者之中作为阴极者,电性耦接至发光元件的第三下电极和第三上电极二者之中作为阳极者。
为了对本发明之上述及其他方面有更佳的了解,下文特举实施例,并配合所附图式详细说明如下:
附图说明
图1A绘示根据本发明一实施例的感测单元。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的