[发明专利]废料去除装置以及具有该废料去除装置的划片设备在审
| 申请号： | 201711383098.3 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109704556A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张喜童;卢光硕;李峻硕 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02;C03B33/10 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;李英艳 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 废料去除装置 划片设备 夹持单元 夹具 夹持 安装单元 单元安装 支撑单元 支撑夹 基板 去除 | ||
1.一种从基板去除废料的废料去除装置，所述废料去除装置包括：
第一夹持阵列，其包括多个夹持单元；
夹持单元安装单元，其上安装有所述第一夹持阵列；以及
支撑单元，其支撑所述夹持单元安装单元，
其中，所述夹持单元具有保持废料的夹具，且所述夹具的高度能够被调节。
2.根据权利要求1所述的废料去除装置，其中，所述夹持单元安装单元由所述支撑单元能旋转地支撑。
3.根据权利要求2所述的废料去除装置，其中，所述支撑单元能在至少一个方向上移动。
4.根据权利要求1所述的废料去除装置，其中，所述夹持单元包括：夹具基部；夹具本体，其被安装在所述夹具基部上；所述夹具，其设置在所述夹具本体上；以及夹具驱动单元，其操作所述夹具。
5.根据权利要求4所述的废料去除装置，还包括：
高度调节单元，其调节所述夹具本体相对于所述夹具基部的高度。
6.根据权利要求1到5中任一项所述的废料去除装置，还包括：
第二夹持阵列，其与所述第一夹持阵列分开地设置在所述夹持单元安装单元上，且包括多个夹持单元。
7.根据权利要求6所述的废料去除装置，其中，所述第一夹持阵列从所述基板去除前部废料，所述第二夹持阵列从所述基板去除后部废料。
8.根据权利要求6所述的废料去除装置，其中，所述第一夹持阵列和所述第二夹持阵列被设置为围绕所述夹持单元安装单元的旋转轴线成预定角度。
9.根据权利要求6所述的废料去除装置，其中，所述第一夹持阵列和所述第二夹持阵列以围绕所述夹持单元安装单元的旋转轴线成等于或小于90度的角度被设置在所述夹持单元安装单元上。
10.一种划片设备，包括：
第一运送单元和第二运送单元，其运送基板；
划片单元，其在所述基板上形成划片线；以及
根据权利要求1-9中任一项所述的废料去除装置，其去除由所述划片单元分离的废料。
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