[发明专利]废料去除装置以及具有该废料去除装置的划片设备

说明书

本发明涉及一种废料去除装置以及具有该废料去除装置的划片设备。本发明提供了一种从基板去除废料的废料去除装置，该废料去除装置包括：第一夹持阵列，其包括多个夹持单元；夹持单元安装单元，其上安装有第一夹持阵列；以及支撑单元，其支撑夹持单元安装单元，其中，夹持单元具有保持废料的夹具，且夹具的高度能够被调节，且本发明还提供一种具有该废料去除装置的划片设备。

技术领域

本发明涉及一种废料(dummy，无用物)去除装置以及一种具有该废料去除装置的划片设备。更具体地，本发明涉及一种废料去除装置以及一种具有该废料去除装置的划片设备，其有效地去除在基板的前侧和后侧形成的废料。

背景技术

一般而言，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等是通过使用单元玻璃面板(下文中，称为“单元基板”)制造，单元玻璃面板是通过将诸如玻璃的脆性母体玻璃面板(下文中，称为“母基板”)切割成预定尺寸而制成。

切割基板的过程(处理、工艺)包括：划片过程，通过使用由金刚石或激光制成的划片轮沿着母基板上的预定切割线在母基板上形成划片线；以及裂片过程，借助使用沿着划片线按压母基板的方法通过切割基板来获得单元基板。

同时，在切割基板的过程期间，有必要从母基板上去除不包括在单元基板中的部分区域。母基板的不必要区域被称为废料或废玻璃，或者也称为边料。

作为示例，韩国专利申请公开第10-2003-0069195号公开了一种构造，其中通过轮端在玻璃基板上形成划片线，通过使用安装在支撑装置上的卡爪单元保持液晶母面板(母基板)的边料，且边料被分离并丢弃。

然而，相关技术中存在的问题在于，没有充分公开用于去除废料的特定装置构造以及用于有效地支撑和调节卡爪(chuck)单元的结构。

发明内容

本发明致力于提供一种废料去除装置和具有该废料去除装置的划片设备，其能够在基板的划片过程期间有效地去除废料。

同时，废料可能存在于母基板的后侧以及母基板的前侧，且可能存在这样的问题：如果支撑多个卡爪单元的构件下垂，则不能有效地去除存在于母基板的前侧和后侧处的废料。

因此，本发明还致力于提供一种废料去除装置和具有该废料去除装置的划片设备，其能够有效地去除存在于基板的前侧和后侧的废料。

本发明的示例性实施例提供了一种用于从基板去除废料的废料去除装置，该废料去除装置包括：第一夹持阵列，其包括多个夹持单元；夹持单元安装单元，其上安装有第一夹持阵列；以及支撑单元，其支撑夹持单元安装单元，其中，夹持单元具有保持废料的夹具，且夹具的高度能够被调节。

夹持单元安装单元可由支撑单元能旋转地支撑。此外，支撑单元可沿至少一个方向移动。

夹持单元可包括：夹具基部；夹具本体，其被安装在夹具基部上；夹具，其设置在夹具本体上；以及夹具驱动单元，其操作夹具。

废料去除装置还可包括高度调节单元，该高度调节单元调节夹具本体相对于夹具基部的高度。

废料去除装置还可包括第二夹持阵列，该第二夹持阵列与第一夹持阵列分开地设置在夹持单元安装单元上，且包括多个夹持单元。

第一夹持阵列可从基板去除前部废料，第二夹持阵列可从基板去除后部废料。

第一夹持阵列和第二夹持阵列可被设置为围绕夹持单元安装单元的旋转轴线成预定角度。第一夹持阵列和第二夹持阵列可以围绕夹持单元安装单元的旋转轴线成等于或小于90度的角度而被设置在夹持单元安装单元上。