[发明专利]OLED堆叠膜的质量评估的系统、设备和方法有效
申请号: | 201711385871.X | 申请日: | 2014-02-13 |
公开(公告)号: | CN107871818B | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 克里斯托弗.科卡 | 申请(专利权)人: | 卡帝瓦公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/56;G06T7/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 董均华;邓雪萌 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 堆叠 质量 评估 系统 设备 方法 | ||
本公开提供用于评估有机发光二极管(“OLED”)器件的沉积膜层质量的技术。图像被捕捉并滤波以识别要分析的沉积层。表示该层的图像数据可以被可选地转换为亮度(灰度)数据。然后梯度函数被应用以强调沉积层中的不连续性。然后不连续性被与一个或多个阈值比较并用于确定沉积层的质量,然后可选的补救措施被应用。本公开技术可以在现场被应用,以在随后的制造步骤被实施之前快速地识别诸如分层的潜在缺陷。在可选的实施例中,依据缺陷是否被确定存在,可以采用补救措施。
本公开要求第一发明人克里斯托弗可可于2013年2月18日提交的美国临时专利申请No. 61/766,064的“Systems and Methods for the Detection of Defective EMLFilms”的优先权,该在先专利申请通过引用并入在此。
技术领域
本教导涉及用于有机发光二极管(“OLED”)器件的制造期间像素井结构中形成的各种膜的质量评估的系统、器件和方法。
背景技术
OLED器件技术潜力的兴趣很大程度上已经被具有高色纯度和高对比度并且超薄和节能的平面面板的演示所驱动。另外,各种衬底材料,包括柔性聚合物材料,可以用在OLED器件的制作中。OLED器件可以通过使用工业打印系统将各种有机物和其它薄膜打印到衬底上来制造。在这种处理中几乎可以使用任何期望尺寸的衬底,从为用作手机显示屏所定尺寸的衬底到为用作非常大电视(“TV”)屏幕所定尺寸的衬底。为了提供两个非限制性示例,薄膜的喷墨打印可以用于7.5代衬底,具有大约195厘米x 225厘米的维度,然后这些衬底每个衬底被切割为8个42或者6个47的平面面板,以及对于8.5代衬底,具有大约220x250厘米的维度,然后这些衬底每个衬底被切割为6个55或者8个46平面面板。
OLED器件典型地具有组成显示器的大量像素。在彩色显示器中,每个像素典型地具有三个分开的色彩生成元件。这些元件的每个典型地轮流使用“井”在喷墨打印处理期间接收一个或多个薄膜层。如此,OLED器件的每个像素典型地与对应于各自像素色彩的三个井关联。用于每个色彩部件(即,与每个井关联的)的层的装配得到“OLED堆叠”。每个OLED堆叠可以包括6-7个膜层。在制造期间,期望均匀地沉积这些层的每一个。
可以看出,高清晰度平面面板显示器可以含有超过两百万像素,像素密度在大约300ppi至大约450ppi之间。明显地,考虑到各种OLED器件制造期间在衬底上必须得到数量之多的功能像素,要求高程度的制造精确度。在得到各种层的处理中,可以发生膜层之间或者内部的各种不连续性,其可以导致不按照设计运行的或者另行被识别为有缺陷的像素。
因此,在可以用于及时和系统地在OLED器件制造期间评估衬底上形成的薄膜的质量的系统、器件和方法领域中是有需求的。
附图说明
以下将参照附图描述本发明的示意性实施例。
图1A是根据本教导的显示面板内示例性像素布置的图示。图1B是根据本教导的OLED堆叠的实施例的示意图。
图2A是根据本教导描述示意性像素井的截面图。图2B是根据本教导描述与单一像素关联的结构的顶视图。
图3是根据示意性实施例的OLED器件质量评估系统的示意性描述。图4根据示意性实施例描述图3的面板检查系统的数据收集装置的框图。
图5根据示意性实施例描述具有图4的数据收集组件的打印系统。
图6是可以容纳诸如图5的打印系统的各种实施例的打印系统的气密系统的示意性截面图。
图7A至图7D根据本教导的系统和方法的各种实施例描述示出由数据收集装置的图像处理应用执行的示例操作的各种流程图。
图8A至图8F根据本教导的各种实施例描述用于示出图像处理应用的操作的一个或多个像素井的图示。
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