[发明专利]电镀金属前处理的厚膜铝电极

权利要求书

1.一种电镀金属前处理的厚膜铝电极，是对该厚膜铝电极在进行后续电镀金属前进行一前处理，其特征在于，该前处理为纯机械式处理、纯化学式碱洗/酸洗处理、或化学式适当阳极处理，以移除该厚膜铝电极表面的不平整及氧化铝非导电质，令该厚膜铝电极具有表面平整度与低含氧量，使该厚膜铝电极后续电镀金属质量与贵金属厚膜银电极质量相当；

上述纯机械式处理为机械式研磨，是将该厚膜铝电极以球料比1：10的比例混合介质铁珠研磨6.5-9.5小时；其中，介质铁珠粒径介于0.55-0.81mm之间；

上述纯化学式碱洗/酸洗处理是将该厚膜铝电极浸渍于碱洗液或酸洗液中滚动，令该碱洗液或酸洗液与该厚膜铝电极发生蚀刻反应；其中，碱洗是在40-60℃下进行12-18分钟，碱洗液为氢氧化钠、氢氧化铵或其组合；酸洗是在50-80℃下进行12-18分钟，酸洗液为硫酸镍、硫酸或其组合；

上述化学式适当阳极处理是将该厚膜铝电极浸渍于酸性液中滚动，以白金电极为阴极、该厚膜铝电极为阳极进行阳极处理反应；其中，采用酸性液时是在25-65℃下进行12-18分钟，酸性液为磷酸。

2.如权利要求1所述的电镀金属前处理的厚膜铝电极，其中，所述纯机械式处理于滚筒内进行。

3.如权利要求1所述的电镀金属前处理的厚膜铝电极，其中，所述纯化学式碱洗/酸洗处理于滚筒内进行。

4.如权利要求1所述的电镀金属前处理的厚膜铝电极，其中，所述碱洗液浓度为0.25M。

5.如权利要求1所述的电镀金属前处理的厚膜铝电极，其中，所述酸洗液中硫酸镍浓度为410g/l、硫酸质量浓度为10％。

6.如权利要求1所述的电镀金属前处理的厚膜铝电极，其中，所述酸性液的磷酸浓度为1/10Vol％。

7.如权利要求1所述的电镀金属前处理的厚膜铝电极，其中，所述阳极处理反应时施以25-35V电压。