[发明专利]带电粒子束装置和控制方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其具有：

照射部，其向试样照射带电粒子束；

像形成部，其检测通过所述带电粒子束的照射而从所述试样产生的带电粒子，并形成基于该带电粒子的检测信号的图像；

输入接受部，其接受观察条件；

导出部，其根据所接受的所述观察条件和存储在存储部中的第一观察参数导出适于该观察条件的第二观察参数；以及

控制部，其根据所述第二观察参数控制所述照射部。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其中，

所述输入接受部接受使所述带电粒子束加速的加速电压、所述带电粒子束的射束电流、使所述带电粒子束会聚的物镜的动作模式即镜头模式、保持所述试样的支架的种类、所述试样的材质、载置所述试样的载台的位置即载台位置中的一部分或全部的组合作为所述观察条件，

在所述存储部中存储有该组合作为所述第一观察参数。

3.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其中，

在所述存储部中存储有与所述照射部进行的所述带电粒子束的照射相关的表示射束照射条件的1个以上的射束照射参数和与所述带电粒子的检测相关的表示检测条件的1个以上的检测参数中的一部分或全部的组合作为所述第二观察参数。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其中，

所述射束照射参数是使所述照射部照射所述带电粒子束时对所述照射部设定的准心、射束移位、OL值、标记值中的一部分或全部的组合，

所述检测条件是对比度值、亮度值中的任意一方或两者的组合。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，

在所述存储部中存储有将所述第一观察参数和所述第二观察参数对应起来的数据库，

所述导出部根据所接受的所述观察条件和所述第一观察参数导出包含于所述数据库中的所述第二观察参数中的、貌似与该观察条件对应的所述第二观察参数作为适于该观察条件的所述第二观察参数。

6.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其中，

所述导出部确定包含于所述数据库中的所述第一观察参数中的最接近所接受的所述观察条件的所述第一观察参数，并将与确定的该第一观察参数对应的所述第二观察参数作为貌似与该观察条件对应的所述第二观察参数导出。

7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其中，

包含于所述数据库中的所述第一观察参数所包含的参数分别对应有优先顺序，

所述导出部根据所述优先顺序和所接受的所述观察条件来确定包含于所述数据库中的所述第一观察参数中的最接近该观察条件的所述第一观察参数。

8.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其中，

所述导出部根据使所述数据库进行学习的机器学习的算法和所接受的所述观察条件，从所述数据库导出貌似与该观察条件对应的所述第二观察参数。

9.根据权利要求5至8中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，

该带电粒子束装置还具有存储所述数据库的存储部，

所述导出部从所述存储部读出所述数据库。

10.根据权利要求5至9中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，

所述导出部经由网络从所述存储部获取所述数据库。

11.根据权利要求5至10中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，

所述数据库是将所述照射部过去对试样照射所述带电粒子束时的所述第一观察参数和所述第二观察参数对应起来的数据库。

12.一种控制方法，其是如下带电粒子束装置的控制方法，该带电粒子束装置具有：照射部，其向试样照射带电粒子束；以及像形成部，其检测通过所述带电粒子束的照射而从所述试样产生的带电粒子，并形成基于该带电粒子的检测信号的图像，其中，该控制方法具有如下步骤：

接受观察条件；

由导出部根据所接受的所述观察条件和存储在存储部中的第一观察参数导出适于该观察条件的第二观察参数；以及

由控制部根据导出的所述第二观察参数控制所述照射部。