[发明专利]薄金铜合金线及其制造方法有效
申请号: | 201711394116.8 | 申请日: | 2017-12-21 |
公开(公告)号: | CN108122877B | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 周振基;周博轩;麦宏全;彭政展;陈怡廷 | 申请(专利权)人: | 汕头市骏码凯撒有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C25D5/10;C25D3/50;C25D3/48;C25D7/06;C22C9/00 |
代理公司: | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人: | 林天普;俞诗永 |
地址: | 515000 广东省汕*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铜合金 及其 制造 方法 | ||
1.一种薄金铜合金线,其特征在于包括芯线、包覆在芯线外面的钯预镀层以及包覆在钯预镀层外面的金包覆层;所述芯线按重量计含有Pd 0.1-0.5%,微量添加元素1-300 ppm,余量为铜;所述微量添加元素是Pt 、Co和Mg的组合;所述钯预镀层的厚度为1-8 nm,金包覆层的厚度为1-30 nm;
所述薄金铜合金线的制造方法包括下述步骤:
(1)熔铸:按比例将Pd和微量添加元素加入到铜原料中,经过真空熔炼和定向连续引铸工艺,获得直径为6-8毫米的芯线线材;
(2)拉丝:对步骤(1)得到的芯线线材进行拉丝,获得直径为50-280um的芯线;
(3)中间退火:步骤(2)拉丝完成后,对芯线进行中间退火,在退火过程中采用N2或者氮氢混合气来做为退火气氛,退火炉有效长度为600-1000mm,退火温度为300-600℃,退火速率为60-120m/min;
(4)对经步骤(3)中间退火处理的芯线继续进行拉丝,获得直径为15-40um的芯线;
(5)采用电镀工艺在步骤(4)获得的芯线表面上包覆钯镀层,钯镀层的厚度为1-8 nm,得到镀钯线;
本步骤(5)中的电镀工艺包括下述步骤:
(5-1)脱除有机物处理:将步骤(4)获得的芯线浸入温度为70-150℃的丙酮乙醇混合液中,浸入时间为1.4-8秒,脱除芯线表面的有机物;所述丙酮乙醇混合液中丙酮与乙醇的重量比例为1:5-10;
(5-2)脱除氧化物处理:将经过脱除有机物处理的芯线浸入温度为70-150℃、重量百分比浓度为30-50%的硝酸中,浸入时间为1.4-8秒,脱除芯线表面的氧化物;
(5-3)表面活化处理:将经过脱除氧化物处理的芯线浸入温度为70-150℃、重量百分比浓度为10-30%的硫酸中,浸入时间为1.4-8秒,对芯线进行表面活化处理;
(5-4)镀钯:将经过表面活化处理的芯线浸入镀钯液中,在电镀电流为0.2-0.8A的条件下镀钯,在芯线的表面上形成厚度为1-8 nm的钯镀层,该钯镀层将芯线包覆;
(5-5)清洗:以纯水作为清洗液,对包覆有钯镀层的芯线进行超音波清洗;
(5-6)吹干:利用风刀吹去附着在钯镀层表面上的水;
进行电镀时,以5-30m/min 的速度连续释放步骤(4)获得的芯线,芯线依次经过上述脱除有机物处理、脱除氧化物处理、表面活化处理、镀钯、清洗和吹干后,得到镀钯线并收线;
(6)采用电镀工艺在步骤(5)得到的镀钯线表面上包覆金镀层,金镀层的厚度为1-30nm,得到镀钯镀金线;
(7)最后退火:对步骤(6)得到的镀钯镀金线进行最后退火,在退火过程中采用N2或者氮氢混合气来做为退火气氛,退火炉有效长度为600-1000mm,退火温度为300-600℃,退火速率为60-120m/min;
(8)冷却:最后退火结束后,将镀钯镀金线冷却至20-30℃,得到所需的薄金铜合金线。
2.根据权利要求1所述的薄金铜合金线,其特征在于:所述步骤(5-4)中,采用的镀钯液是硫酸钯、氯化铵和硫酸铵的混合溶液,其中硫酸钯的浓度为1-4g/L,氯化铵的浓度为1-4g/L,硫酸铵的浓度为1-4g/L。
3.根据权利要求1所述的薄金铜合金线,其特征在于:所述步骤(5-6)中,风刀气流为N2,其流速为5-20L/min。
4.根据权利要求1所述的薄金铜合金线,其特征在于:所述步骤(6)中的电镀工艺包括下述步骤:
(6-1)镀金:将步骤(5)获得的镀钯线浸入浓度为2-4g/L的镀金液中,在电镀电流为0.2-0.8A的条件下镀金,在镀钯线的表面上形成厚度为1-30 nm的金镀层,该金镀层将钯镀层包覆;
(6-2)清洗:以纯水作为清洗液,对包覆有金镀层的镀钯线进行超音波清洗;
(6-3)吹干:利用风刀吹去附着在金镀层表面上的水;
进行电镀时,以5-30m/min 的速度连续释放步骤(5)获得的镀钯线,镀钯线依次经过上述镀金、清洗和吹干后,得到镀钯镀金线并收线。
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