[发明专利]承片台空气主轴组件

权利要求书

1.一种承片台空气主轴组件，其特征在于，包括：

主轴；

承片台，所述承片台形成为设在所述主轴的一端；

中间盘，所述中间盘套设在所述主轴上且与所述承片台在所述主轴的轴向上间隔开布置；

上止推盘，所述上止推盘设在所述中间盘与所述承片台之间且与所述中间盘之间间隔开形成间隙，所述上止推盘上设有朝向所述中间盘的第一气孔；

下止推盘，所述下止推盘套设在所述主轴上且位于所述中间盘的另一侧，所述下止推盘与所述中间盘之间间隔开形成间隙且所述下止推盘上设有朝向所述中间盘的第二气孔。

2.根据权利要求1所述的承片台空气主轴组件，其特征在于，所述承片台形成为圆形，所述中间盘、所述上止推盘和所述下止推盘分别形成为环形，所述上止推盘、所述中间盘和所述下止推盘沿上下方向依次叠置。

3.根据权利要求2所述的承片台空气主轴组件，其特征在于，所述上止推盘和所述下止推盘的外径尺寸相等且大于所述中间盘的外径尺寸。

4.根据权利要求3所述的承片台空气主轴组件，其特征在于，还包括：

外环，所述外环形成为环形且套设在所述中间盘上，所述外环的外径尺寸与所述上止推盘和所述下止推盘的外径尺寸相等。

5.根据权利要求4所述的承片台空气主轴组件，其特征在于，所述外环的轴向长度大于所述中间盘的厚度，所述外环的上端止抵所述上止推盘以使所述上止推盘与所述中间盘之间形成所述间隙。

6.根据权利要求5所述的承片台空气主轴组件，其特征在于，所述主轴的上端设有径向尺寸小于所述主轴的径向尺寸的轴肩，所述中间盘设在所述轴肩上，所述轴肩止抵所述中间盘以使所述中间盘与所述下止推盘之间形成所述间隙。

7.根据权利要求1所述的承片台空气主轴组件，其特征在于，还包括：

上密封环，所述上密封环设在所述上止推盘的背向所述中间盘的一侧；

下密封环，所述下密封环设在所述下止推盘的背向所述中间盘的一侧。

8.根据权利要求7所述的承片台空气主轴组件，其特征在于，所述上密封环和所述下密封环分别形成为环形，所述上密封环固定在所述上止推盘上，所述下密封环固定在所述下止推盘上。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的承片台空气主轴组件，其特征在于，所述第一气孔和所述第二气孔分别为多个，多个所述第一气孔和所述第二气孔分别均匀间隔开设在所述上止推盘和所述下止推盘上。

10.根据权利要求9所述的承片台空气主轴组件，其特征在于，所述第一气孔和所述第二气孔分别为16个，所述第一气孔和所述第二气孔的直径分别为0.02mm。