[发明专利]芯片封装材料表面清洁装置有效

专利信息
申请号: 201711413510.1 申请日: 2017-12-24
公开(公告)号: CN108155123B 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 樊超 申请(专利权)人: 苏州赛源微电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/02
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 代理人: 韩飞
地址: 215011 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 芯片 封装 材料 表面 清洁 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片封装材料表面清洁装置,其包括承载板、设置在承载板左右两侧的吸尘风机和吹扫风机、设置在承载板中间顶部的净化箱;所述净化箱设有存放腔,所述存放腔中设有多个隔离板将所述存放腔分割成多个独立腔体;所述存放腔左右两侧分别设有过滤板和进口支撑板;所述吸尘风机进口连接有进尘管,所述进尘管右端固定连接有进尘腔,所述进尘腔右侧连接有多个除尘管;所述除尘管右侧与设置在过滤板上的进尘孔一一对应;所述吹扫风机左侧出口连接有出风管;所述出风管左端连接有伸缩软管;所述伸缩软管左侧连接有出风腔,所述出风腔左侧连接有多个进风管;所述出风腔设置于拉板内,所述拉板左侧固定连接有多个柱塞;所述进风管设置在柱塞中;所述进风管左端开口设置在存放腔中所述柱塞分别与设置在进口支撑板上的入口相对应;所述进口支撑板的入口分别与存放腔中被隔离板分割成独立腔体相对应,其特征在于:所述净化箱的中部穿设枢转轴,所述枢转轴连接电机,所述电机带动所述净化箱围绕所述枢转轴转动;所述芯片封装材料表面清洁装置还包括开关支架;所述开关支架相对所述承载板固定;所述开关支架中间部位设有螺纹轴;所述螺纹轴左侧连接有门板支架,所述门板支架左侧连接所述拉板;所述承载板的顶部固定连接有连接支架,所述枢转轴的背离所述电机的一端支撑于所述连接支架;

所述枢转轴穿过所述拉板、门板支架及开关支架;

所述净化箱转动时,所述拉板、门板支架、开关支架均相对枢转轴旋转。

2.如权利要求1所述的芯片封装材料表面清洁装置,其特征在于:所述螺纹轴右端固定连接有旋转板。

3.如权利要求2所述的芯片封装材料表面清洁装置,其特征在于:所述螺纹轴左端固定连接有固定板,所述固定板设置在门板支架左侧位置将螺纹轴固定。

4.如权利要求3所述的芯片封装材料表面清洁装置,其特征在于:所述螺纹轴外部设有外螺纹,所述外螺纹与设置在连接支架孔上的内螺纹相匹配。

5.如权利要求1所述的芯片封装材料表面清洁装置,其特征在于:所述拉板和所述门板支架可沿所述枢转轴移动。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州赛源微电子有限公司,未经苏州赛源微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711413510.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top