[发明专利]除静电装置及除静电方法

权利要求书

1.一种除静电装置，对带静电的基板进行降低带静电量的处理，其特征在于，具有：

基板保持机构，保持基板；以及

紫外线照射机构，能够对基板的多个区域以所述多个区域彼此间互不相同并与多个区域相应的照射量照射紫外线，所述多个区域是对基板的主面进行划分而形成的，

控制部，决定除去所述基板的多个区域内的各位置的电荷所需的紫外线的需要照射量，

所述控制部控制来自所述紫外线照射机构的紫外线对所述多个区域的照射量。

2.根据权利要求1所述的除静电装置，其特征在于，

从所述紫外线照射机构对所述多个区域照射的紫外线的照射量能够改变，

所述除静电装置还具有：

多个表面电位测量机构，分别测量所述多个区域内的表面电位；

所述控制部根据由所述多个表面电位测量机构测量的表面电位，控制所述多个区域各自的照射量。

3.根据权利要求1或2所述的除静电装置，其特征在于，

所述紫外线照射机构具有多个单位照射机构，

所述多个单位照射机构分别对所述多个区域照射紫外线。

4.根据权利要求2所述的除静电装置，其特征在于，

所述紫外线照射机构具有多个单位照射机构，

所述多个单位照射机构分别对所述多个区域照射紫外线，

在所述紫外线照射机构照射紫外线的过程中，所述多个表面电位测量机构测量基板的主面的表面电位，

所述控制部对由所述多个表面电位测量机构中的一个表面电位测量机构测量的所述多个区域中的一个区域的表面电位的绝对值是否低于基准值进行判断，

所述紫外线控制机构在判断为所述多个区域中的所述一个区域的表面电位的绝对值低于所述基准值时，使所述多个单位照射机构中的与所述多个区域中的所述一个区域对应的单位照射机构停止照射。

5.根据权利要求3所述的除静电装置，其特征在于，

所述多个单位照射机构呈直径互不相同的圆弧状或环状的形状，并且所述多个单位照射机构配置为同心圆状。

6.根据权利要求3所述的除静电装置，其特征在于，

该除静电装置还具有旋转机构，该旋转机构使所述基板保持机构以与基板的主面垂直的轴作为旋转轴进行旋转，

所述多个单位照射机构具有沿着与基板的主面平行的第一方向延伸的棒状的形状，并且沿与基板的主面平行且与所述第一方向垂直的第二方向排列配置。

7.根据权利要求3所述的除静电装置，其特征在于，

所述控制部对所述多个单位照射机构中的每个单位照射机构照射紫外线及停止照射进行切换，来控制对所述多个区域中的每个区域的紫外线的照射量。

8.根据权利要求3所述的除静电装置，其特征在于，所述控制部控制所述多个单位照射机构，来控制从所述多个单位照射机构中的每个单位照射机构照射的紫外线的强度。

9.根据权利要求2所述的除静电装置，其特征在于，该除静电装置还具有：

第一移动机构，使所述紫外线照射机构及所述基板保持机构在沿基板的主面的方向上相对移动；

旋转机构，使所述基板保持机构以与基板的主面垂直的轴作为旋转轴进行旋转，

所述控制部控制所述第一移动机构，基于由所述多个表面电位测量机构测量的表面电位，控制表示所述紫外线照射机构与所述基板保持机构之间的相对的位置和所述紫外线照射机构与所述基板保持机构之间的相对的移动速度的关系的图案。

10.根据权利要求9所述的除静电装置，其特征在于，该除静电装置还具有第二移动机构，该第二移动机构使所述多个表面电位测量机构和所述基板保持机构在所述多个表面电位测量机构与基板的主面相对的位置和所述多个表面电位测量机构不与基板的主面相对的位置之间相对移动。