[发明专利]一种蒸镀对位效果检测装置及方法

权利要求书

1.一种蒸镀对位效果检测装置，其特征在于，包括模拟真空蒸镀环境的洁净腔室及位于所述洁净腔室内的对位装置和对位效果检测装置，所述对位效果检测装置设置在掩膜板下方，所述对位效果检测装置包括检测摄像机、检测摄像机固定件、检测摄像机固定件移动导向轴、检测摄像机固定件导向轴移动导轨，所述导轨固定在所述洁净腔室中。

2.如权利要求1所述的一种蒸镀对位效果检测装置，其特征在于，所述检测摄像机固定件导向轴在伺服电机驱动下沿所述导轨前后方向移动。

3.如权利要求2所述的一种蒸镀对位效果检测装置，其特征在于，所述检测摄像机固定件在伺服电机驱动下沿所述导向轴水平方向移动。

4.如权利要求3所述的一种蒸镀对位效果检测装置，其特征在于，所述检测摄像机在伺服电机驱动下沿所述检测摄像机固定件上下移动。

5.如权利要求1-4中任一所述的一种蒸镀对位效果检测装置，其特征在于，所述导轨为齿轮导轨。

6.一种蒸镀对位效果检测方法，其特征在于，包括：

采用对位装置将掩膜板与衬底基板对位；

采用能够在三维空间移动的对位效果检测装置对对位完成的所述掩膜板与所述衬底基板进行图案识别，

将识别后的图案信息传递给图像处理系统进行分析计算得出对位的偏差数值，输出检测结果，

如果检测结果在允许误差内则将所述掩膜板导入蒸镀系统使用，否则将再执行所述掩膜板与衬底基板对位及对位效果检测，如果对位超出预定次数后对位效果检测结果仍超出允许误差，则所述掩膜板不投入使用。

7.如权利要求6所述的一种蒸镀对位效果检测方法，其特征在于，所述对位效果检测装置通过图案颜色差异区域或图案轮廓进行图案识别。

8.如权利要求7所述的一种蒸镀对位效果检测方法，其特征在于，所述图像处理系统根据图案轮廓分别计算得出所述衬底基板的阳极图案轮廓的中心和所述掩膜板开口图案的中心，得出中心偏差值即对位偏差，将所述对位偏差值补偿到所述对位装置的对位数据里面。

9.如权利要求8所述的一种蒸镀对位效果检测方法，其特征在于，所述对位装置根据所述偏差值进行偏移对位，对位完成后，所述对位效果检测再次检测对位效果，得出各测量数据。

10.如权利要求9所述的一种蒸镀对位效果检测方法，其特征在于，所述对位装置的摄像机通过测量所述掩膜板上的定位孔与所述衬底基板上的定位孔是否吻合进行对位。