[发明专利]一种蒸镀对位效果检测装置及方法

说明书

本发明涉及蒸镀领域，公开了一种蒸镀对位效果检测装置，包括模拟真空蒸镀环境的洁净腔室及位于所述洁净腔室内的对位装置和对位效果检测装置，所述对位效果检测装置设置在掩膜板下方，所述对位检测装置包括检测摄像机、检测摄像机固定件、检测摄像机固定件移动导向轴、检测摄像机固定件导向轴移动导轨，所述导轨固定在所述洁净腔室中。采用该技术方案可以提高蒸镀良率，减少浪费，节约生产成本。

技术领域

本发明涉及蒸镀领域，特别涉及一种蒸镀对位效果检测装置及方法。

背景技术

近年来，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器已经成为国内外非常热门的新兴平板显示器产品，OLED显示器具有自发光、广视角、反应速度快、广色域、低工作电压、面板薄、易于做成柔性面板、工作温度范围广等优势。

OLED器件的制备通常采用的真空蒸镀法，将蒸镀材料在真空中加热、蒸发，使蒸发出来的原子或原子基团在温度较低的衬底基板上冷却析出并形成薄膜。蒸镀工艺的稳定性对成膜质量的好坏有很大影响的。为了实现彩色化显示，在蒸镀工艺中要分别蒸镀红、绿、蓝三基色对应的材料，常用的方法为掩膜法，即在衬底基板的前面覆盖一层很薄的金属掩膜板，只在金属掩膜板的开口位置蒸镀红、绿、蓝三基色对应的有机材料。而用来蒸镀红、绿、蓝三基色对应的有机材料的位置(也即像素电极的位置)已经被精确的定义，所以在蒸镀工艺中金属掩膜板的开口要和像素电极位置对应，不允许有超出误差范围之内的偏移，否则将会出现两种发光材料重合在一起或者发光材料没有正确的沉积在对应的阳极图案上的情况，发生混色或者色偏。

蒸镀对位过程通过机械手传送到蒸镀腔室内的衬底基板放在衬底基板支撑平台上。平台下降将衬底基板完全放到金属掩膜板上，然后由对位系统中的CCD摄像机抓取衬底基板的对位标将得到的对位数据与金属掩膜板对位标数据进行套合。如对位标不重合则提升衬底基板支撑平台将衬底基板提起，对位系统控制衬底基板支撑平台将对位数据偏离值进行补偿，然后再次下降进行对位，直至对位标完全重合。有机材料蒸发源移动到工作位置开始进行蒸镀。

由于金属掩膜板很薄，而玻璃衬底较厚、重量大，衬底基板在与金属掩膜板对位过程中会导致金属掩膜板受到衬底基板的下压力，导致金属掩膜板挤压形变；变形后的金属掩膜板上的开口图案与衬底基板的阳极图案就会出现不能完整对应的情况，出现一定程度的偏移，这样蒸镀材料就不能准确的沉积在需要发光的阳极图案上，从而出现色偏，严重时出现混色情况。

金属掩膜板是通过蒸镀装置中的对位机构来实现掩膜板上的开口图案与衬底基板的图案进行对应的，而对位机构一旦出现异常，包括对位时的摄像机测量误差，就会导致对位完成后金属掩膜板上的开口图案与衬底基板的图案不能一一对应，从而出现色偏，严重时出现混色情况。

在完成蒸镀后的玻璃在通入电压发光、检测后才能判断以上过程是否有异常，而这出现种情况已浪费衬底基板和蒸镀材料，导致生产成本增加。同时生产良率也下降。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种蒸镀对位效果检测装置，可以提高蒸镀良率，减少浪费，节约生产成本。

本发明实施例提供的一种蒸镀对位效果检测装置，包括模拟真空蒸镀环境的洁净腔室及位于所述洁净腔室内的对位装置和对位效果检测装置，所述对位效果检测装置设置在掩膜板下方，所述对位效果检测装置包括检测摄像机、检测摄像机固定件、检测摄像机固定件移动导向轴、检测摄像机固定件导向轴移动导轨，所述导轨固定在所述真空蒸镀腔室中。

可选地，所述检测摄像机固定件导向轴在伺服电机驱动下沿所述导轨前后方向移动。

可选地，所述检测摄像机固定件在伺服电机驱动下沿所述导向轴水平方向移动。

可选地，所述检测摄像机在伺服电机驱动下沿所述检测摄像机固定件上下移动。

可选地，所述导轨为齿轮导轨。