[发明专利]一种基板半板检测装置

权利要求书

1.一种基板半板检测装置，其特征在于，包括：底座(1)、承载台(2)、检测组件(3)、探针组件(4)及暂存工位(7)；

所述底座(1)上设有轨道(11)，所述承载台(2)滑动设置于轨道(11)上，且包含第一载台A及第二载台B，所述第一载台A及第二载台B分别用于承载半张基板；所述轨道(11)具有相对的第一端和第二端；

所述检测组件(3)设置于轨道(11)上方，包括龙门头(31)和检测头(32)，所述龙门头(31)设置于底座(1)上，所述检测头(32)滑动设置于龙门头(31)上，用于对半板进行光学检测；所述探针组件(4)设置于轨道(11)上方，用于对半板进行电性检测；

所述暂存工位(7)设置于所述轨道(11)的第二端；其中，

所述第一载台A及所述第二载台B依序在所述第一端与所述第二端之间移动，完成两张半板的检测；且所述第一载台A上的半板进行检测时，所述第二载台B位于所述暂存工位(7)。

2.根据权利要求1所述的基板半板检测装置，其特征在于，所述承载台(2)上均匀设置有多个用于承接玻璃基板的可升降支脚(21)。

3.根据权利要求1所述的基板半板检测装置，其特征在于，所述承载台(2)上均匀分布有多个吸附孔(25)，所述吸附孔(25)与抽真空设备相连接。

4.根据权利要求1所述的基板半板检测装置，其特征在于，所述承载台(2)下设置有驱动承载台旋转的驱动器(22)。

5.根据权利要求1所述的基板半板检测装置，其特征在于，所述承载台(2)四周设置有可伸缩的夹脚(23)，用于夹住玻璃基板。

6.根据权利要求5所述的基板半板检测装置，其特征在于，所述承载台(2)底部设有垂直于轨道方向的移动机构(24)，且所述轨道(11)两侧各设有一个摄像头(12)，所述摄像头(12)用于获取玻璃基板的位置信息。

7.根据权利要求1所述的基板半板检测装置，其特征在于，所述底座(1)下设置有除震台(6)。

8.根据权利要求1所述的基板半板检测装置，其特征在于，所述暂存工位(7)还包括卡匣(72)，所述卡匣(72)用于存放多组探针组。

9.根据权利要求8所述的基板半板检测装置，其特征在于，还包括探针更换组件(8)，所述探针更换组件(8)通过支架(5)设置于底座(1)上，所述探针更换组件(8)具有用于夹取探针组的机械手(81)，所述机械手(81)通过第二轨道(82)在卡匣(72)与探针组件(4)之间移动。

10.根据权利要求8中任一项所述的基板半板检测装置，其特征在于，所述卡匣(72)两侧设有举升组件(71)，用以将待取探针组举升或下移至取料高度。