[发明专利]调节装置有效
申请号: | 201711434284.5 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN107885046B | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 罗善高 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调节 装置 | ||
1.一种调节装置,用于转动曝光机结象系单元上的旋钮,以实现所述曝光机的照度调节,其特征在于:
所述调节装置包括铰链、蜗轮、弹性件、电磁铁和蜗杆;
所蜗轮设有转轴,所述转轴通过所述铰链与所述旋钮连接;
所述弹性件连接于所述曝光机和所述蜗轮之间,所述电磁铁固设在所述曝光机上,所述电磁铁相对于所述弹性件设置于所述蜗轮的另一侧,所述电磁铁与所述蜗轮间隙设置;
所述蜗杆转动设置于所述曝光机上,所述蜗杆相对于所述弹性件,也设置于所述蜗轮的另一侧;
当所述电磁铁未通电时,所述弹性件牵扯所述蜗轮使其与所述蜗杆脱开;当所述电磁铁通电时,所述电磁铁吸附所述蜗轮以拉伸所述弹性件,所述蜗轮与所述蜗杆接触,转动所述蜗杆与所述蜗轮与啮合,从而实现所述旋钮的转动,所述调节装置还包括电机和控制单元,所述电机用于驱动所述蜗杆的转动,所述旋钮为多个,多个所述旋钮在所述曝光机上成单排排列,所述调节装置的数量与所述旋钮的数量相同,排列方式亦相同,多个所述调节装置共用一个所述电机,所述控制单元用于同时控制每一个所述电磁铁的吸附。
2.如权利要求1所述调节装置,其特征在于,所述蜗轮的轴线与所述蜗杆的轴线相互垂直,多个所述蜗杆沿所述旋钮的排列方向同轴设置,多个所述蜗杆依次固连,所述电机驱动依次固连的所述蜗杆同步转动。
3.如权利要求2所述调节装置,其特征在于,所述蜗杆为一个,沿所述旋钮的排列方向延伸,一个所述蜗杆与多个所述蜗轮啮合。
4.如权利要求1所述调节装置,其特征在于,所述铰链为万向铰链。
5.如权利要求1所述调节装置,其特征在于,所述调节装置设有限位柱,所述限位柱位于所述转轴的两侧,所述限位柱与所述曝光机固连,所述限位柱用于限制所述蜗轮沿所述旋钮的排列方向上的摆动。
6.如权利要求1所述调节装置,其特征在于,所述弹性件为弹簧,所述弹簧设有限位件,所述限位件用于限制所述蜗轮沿所述旋钮的排列方向上的摆动。
7.如权利要求1所述调节装置,其特征在于,所述蜗轮和/或所述蜗杆的齿顶部位设置倒角,所述倒角用于导引所述蜗轮与所述蜗杆的啮合。
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