[发明专利]调节装置

说明书

本申请涉及液晶屏幕制造领域，一种调节装置，用于转动曝光机结象系单元上的旋钮，以实现所述曝光机的照度调节。所述调节装置包括铰链、蜗轮、弹性件、电磁铁和蜗杆。所蜗轮通过所述铰链与所述旋钮连接，所述蜗杆驱动所述蜗轮转动，所述弹性件和所述电磁铁用于实现所述蜗轮和所述蜗杆的啮合或脱开。采用本申请的调节装置，可以简化曝光机照度的调节流程，提高精度。

技术领域

本申请涉及液晶屏幕制造领域，尤其涉及一种曝光机上的调节装置。

背景技术

在液晶屏幕TFT－LCD的制造过程中，曝光机是完成光刻制程的重要设备。如果曝光机的光照不均匀，将会造成光刻图案异常，甚至出现短路或断路的现象，严重影响阵列基板的质量。为了确保曝光机中的光程一致性，保证UV照度的均匀性，需要将曝光机中的反光片通过结象系单元定义为弧形。结象系单元通过成排设置的旋钮正转或者反转来推动反光片的前后位移，从而调整反光片的弯曲弧度，实现照度均匀。

通常，结象系单元位于曝光机内部，且没有外部控制单元。因此，曝光机每次的照度调节都需要操作人员进入机台内，采用手动方式进行。具体调节过程是：测试UV照度；根据测试结果旋转UV照度不符合要求的区域对应的旋钮；旋钮推动反光片位移以调整弯曲弧度；重新测试UV照度。由于手动调节不可控，难以达到调节精度，因而每次调节往往需要反复进行上述操作过程才能达到较好的照度效果。曝光机内部对温控以及洁净度的要求非常高，人员经常进入易将外界粉尘带进曝光机内部而污染曝光腔室，或破坏曝光机内恒温、恒湿及洁净的工作环境，导致光学元件的污染，影响产品质量，缩短曝光机的使用寿命，造成严重的经济损失。另一方面，人员在曝光机中的反复进出，也会带来安全隐患。

发明内容

本申请的目的在于提供一种曝光机照度调节装置，简化调节过程，提高调节精度。本申请调节装置包括如下技术方案：

一种调节装置，用于转动曝光机结象系单元上的旋钮，以实现所述曝光机的照度调节，所述调节装置包括铰链、蜗轮、弹性件、电磁铁和蜗杆；所蜗轮设有转轴，所述转轴通过所述铰链与所述旋钮连接；所述弹性件连接于所述曝光机和所述蜗轮之间，所述电磁铁固设在所述曝光机上，所述电磁铁相对于所述弹性件设置于所述蜗轮的另一侧，所述电磁铁与所述蜗轮间隙设置；所述蜗杆转动设置于所述曝光机上，所述蜗杆相对于所述弹性件，也设置于所述蜗轮的另一侧；当所述电磁铁未通电时，所述弹性件牵扯所述蜗轮使其与所述蜗杆脱开；当所述电磁铁通电时，所述电磁铁吸附所述蜗轮以拉伸所述弹性件，所述蜗轮与所述蜗杆接触，转动所述蜗杆与所述蜗轮与啮合，从而实现所述旋钮的转动。

其中，所述调节装置还包括电机，所述电机用于驱动所述蜗杆的转动。

其中，多个所述旋钮在所述曝光机上成单排排列，所述调节装置的数量与所述旋钮的数量相同，排列方式亦相同。

其中，所述蜗轮的轴线与所述蜗杆的轴线相互垂直，多个所述蜗杆沿所述旋钮的排列方向同轴设置，多个所述蜗杆依次固连，多个所述调节装置共用一个所述电机，所述电机驱动依次固连的所述蜗杆同步转动。

其中，所述蜗杆为一个，沿所述旋钮的排列方向延伸，一个所述蜗杆与多个所述蜗轮啮合。

其中，所述调节装置还包括控制单元，所述控制单元用于同时控制每一个所述电磁铁的吸附。

其中，所述铰链为万向铰链。

其中，所述调节装置设有限位柱，所述限位柱位于所述转轴的两侧，所述限位柱与所述曝光机固连，所述限位柱用于限制所述蜗轮沿所述旋钮的排列方向上的摆动。

其中，所述弹性件为弹簧，所述弹簧设有限位件，所述限位件用于限制所述蜗轮沿所述旋钮的排列方向上的摆动。

其中，所述蜗轮和/或所述蜗杆的齿顶部位设置倒角，所述倒角用于导引所述蜗轮与所述蜗杆的啮合。