[发明专利]压电振子及其制备方法

权利要求书

1.压电振子，其特征在于，包括：

基板，具有贯穿其相对两侧的贯穿孔；

上振动层，设置于所述基板的一侧，且包括层叠设置的电极层及至少两层压电陶瓷层，所述电极层包括多层，所述上振动层的每一所述压电陶瓷层位于相邻的所述电极层之间；

下振动层，设置于所述基板的相对的另一侧，且包括层叠设置的所述电极层及至少两层所述压电陶瓷层，所述下振动层的所述电极层包括多层，所述下振动层的每一所述压电陶瓷层位于所述下振动层的相邻的所述电极层之间；

其中，所述上振动层的所述压电陶瓷层与所述下振动层的所述压电陶瓷层极化方向相反，且所述压电振子的所述上振动层、所述基板及所述下振动层层压并烧结呈一体。

2.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，每层所述电极层均包括第一电极及第二电极，且每层所述电极层的所述第一电极与所述第二电极并排布设；

其中，所述上振动层中的每层所述电极层的由所述第一电极指向所述第二电极的方向与相邻的所述电极层中的由所述第一电极指向所述第二电极的方向相反；所述下振动层中的每层所述电极层中的由所述第一电极指向所述第二电极的方向与相邻的所述电极层中的由所述第一电极指向所述第二电极的方向相反。

3.根据权利要求2所述的压电振子，其特征在于，所述上振动层具有贯穿其相对两侧的第一通孔及第二通孔，所述第一通孔及所述第二通孔分别位于所述上振动层的在所述第一电极与所述第二电极的排布方向上的相对两端；

所述上振动层还包括第一引出电极及第二引出电极，所述第一引出电极穿设于所述第一通孔，且一端与所述上振动层中每层所述电极层靠近所述第一通孔的一端的所述第一电极或所述第二电极电连接，所述第二引出电极穿设于所述第二通孔，一端与所述上振动层中每层所述电极层靠近所述第二通孔的一端的所述第一电极或所述第二电极电连接，所述第一引出电极的另一端与所述第二引出电极的另一端均位于所述上振动层远离所述基板一侧的表面。

4.根据权利要求2所述的压电振子，其特征在于，所述下振动层具有贯穿其相对两侧的第三通孔及第四通孔，所述第三通孔及所述第四通孔分别位于所述下振动层的在所述第一电极与所述第二电极的排布方向上的相对两端；

所述下振动层还包括第三引出电极及第四引出电极，所述第三引出电极穿设于所述第三通孔，且一端与所述下振动层中每层所述电极层靠近所述第三通孔的一端的所述第一电极或所述第二电极电连接，所述第四引出电极穿设于所述第四通孔，一端与所述下振动层中每层所述电极层靠近所述第四通孔的一端的所述第一电极或所述第二电极电连接，所述第三引出电极的另一端及所述第四引出电极的另一端均位于所述下振动层远离所述基板的一侧表面。

5.根据权利要求2所述的压电振子，其特征在于，所述压电振子还包括第一侧电极及第二侧电极，所述第一侧电极及所述第二侧电极分别设置于所述基板在所述第一电极指向所述第二电极的方向上的相对两端，所述第一侧电极与各所述电极层靠近所述第一侧电极的一端的所述第一电极或所述第二电极电连接，所述第二侧电极与各所述电极层靠近所述第二侧电极一端的所述第一电极或所述第二电极电连接。

6.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述压电振子还包括填充于所述贯穿孔的填充剂，以在对所述压电振子进行层压时，平衡层压力。

7.压电振子制备方法，其特征在于，包括步骤：

提供一基板；

在所述基板的相对两侧分别成型上振动层及下振动层，形成元件胚体；

对所述元件胚体进行层压，并将所述元件胚体切割形成多个压电振子；

对所述压电振子进行烧结成型。

8.根据权利要求7所述的压电振子制备方法，其特征在于，在形成所述元件胚体的步骤之前还包括步骤：

在压电陶瓷板的两侧成形电极层，并将至少两个所述压电陶瓷板层叠设置形成所述上振动层，将至少两个所述压电陶瓷板层叠设置形成所述下振动层。