[发明专利]显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种显示装置，包括：

下基板；

位于所述下基板上的子像素；

位于所述子像素中至少之一中的精细对准标记，其中所述精细对准标记位于所述子像素的至少一个非开口部中；

位于所述非开口部中的至少一个标记孔，所述至少一个标记孔被图案化成比周边更凹陷，所述精细对准标记设置在所述标记孔内部；以及

所述子像素包括在所述标记孔内部设置有所述精细对准标记的子像素以及在所述标记孔内部未设置有精细对准标记的子像素，其中在不包括精细对准标记的所述子像素的非开口部的标记孔中设置有精细虚拟图案。

2.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述精细对准标记以岛状设置在所述标记孔中。

3.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述精细对准标记由形成在所述下基板上的至少一种材料形成。

4.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述精细对准标记和所述精细虚拟图案具有相同的高度。

5.根据权利要求1所述的显示装置，还包括与所述下基板相对设置的上基板，所述上基板包括在对应于所述标记孔的位置处的防漏光层。

6.一种制造显示装置的方法，包括：

在目标基板外部形成对准标记以及在所述目标基板上的被限定为显示区域的有效区域内部形成精细对准标记，其中所述精细对准标记位于存在于所述显示区域中的子像素的至少一个非开口部中；

使用所述对准标记和所述精细对准标记来对准所述目标基板和掩模基板；

使用所述目标基板和所述掩模基板执行曝光操作；

所述方法还包括在所述非开口部中形成至少一个被图案化成比周边更凹陷的标记孔，其中所述精细对准标记设置在所述标记孔内部；以及

在不包括精细对准标记的子像素的非开口部的标记孔内设置精细虚拟图案。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述精细对准标记以岛状设置在所述标记孔内部。

8.根据权利要求6所述的方法，其中所述精细对准标记与精细虚拟图案具有相同的高度。