[发明专利]评价装置及评价方法

权利要求书

1.一种评价装置，其对被测定物的电气特性进行评价，

该评价装置具备：

工作台，其载置所述被测定物；以及

上部件，其配置于所述工作台上方，

所述工作台和所述上部件能够彼此接近及远离，

该评价装置还具备：

探针，其配置于所述上部件的下表面；

侧壁部，其配置于所述上部件的所述下表面，将所述探针的侧方包围；

第1气体供给部，其在所述侧壁部与所述工作台接近的情况下，能够朝向在所述工作台载置的所述被测定物供给气体，在所述侧壁部与所述工作台接触的情况下，能够对由所述工作台、所述侧壁部及所述上部件包围的空间供给气体；

评价部，其在通过所述第1气体供给部的气体的供给而使所述空间的压力上升的状态下，对与所述探针连接的所述被测定物的电气特性进行评价；以及

第3气体供给部，其在所述侧壁部与所述工作台接近的情况下，能够朝向所述侧壁部供给气体，在所述侧壁部与所述工作台接触的情况下，能够对所述空间供给气体。

2.根据权利要求1所述的评价装置，其中，

还具备第2气体供给部，该第2气体供给部在所述侧壁部与所述工作台接近的情况下，能够朝向所述探针供给气体，在所述侧壁部与所述工作台接触的情况下，能够对所述空间供给气体。

3.根据权利要求2所述的评价装置，其中，

所述第1气体供给部、所述第2气体供给部及所述第3气体供给部的至少任意1者，配置于所述上部件的所述下表面中的由所述侧壁部包围的部分。

4.根据权利要求2所述的评价装置，其中，

所述第1气体供给部及所述第2气体供给部的至少任意1者配置于所述侧壁部的内侧的壁面。

5.根据权利要求2所述的评价装置，其中，

所述第1气体供给部、所述第2气体供给部及所述第3气体供给部的至少任意1者，配置于所述工作台的上部中的比能够与所述侧壁部接触的部分更靠内侧的部分。

6.根据权利要求1或2所述的评价装置，其中，

所述第1气体供给部的气体喷出口相对于所述工作台的上表面朝向垂直方向。

7.根据权利要求1或2所述的评价装置，其中，

所述第1气体供给部的气体喷出口相对于所述工作台的上表面朝向倾斜方向。

8.根据权利要求7所述的评价装置，其中，

多个所述第1气体供给部的气体喷出口在所述上部件的俯视观察时朝向环状的一个方向。

9.根据权利要求1或2所述的评价装置，其中，

多个所述第1气体供给部中的一部分的气体喷出口相对于所述工作台的上表面朝向垂直方向，

所述多个第1气体供给部中的其余的气体喷出口相对于所述工作台的上表面朝向倾斜方向。

10.根据权利要求1或2所述的评价装置，其中，

所述第3气体供给部的气体喷出口相对于所述侧壁部的内侧的壁面朝向垂直方向。

11.根据权利要求1或2所述的评价装置，其中，

所述第3气体供给部的气体喷出口相对于所述侧壁部的内侧的壁面朝向倾斜方向。

12.根据权利要求1或2所述的评价装置，其中，

多个所述第3气体供给部中的一部分的气体喷出口相对于所述侧壁部的内侧的壁面朝向垂直方向，

所述多个第3气体供给部中的其余的气体喷出口相对于所述侧壁部的内侧的壁面朝向倾斜方向。

13.根据权利要求2所述的评价装置，其中，

所述第1气体供给部、所述第2气体供给部及所述第3气体供给部的至少任意1者的气体喷出口具有前端变细的形状。