[发明专利]一种真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备

权利要求书

1.一种真空大气转换腔的充气装置，其特征在于，包括：

接入所述真空大气转换腔中的第一充气管路，所述第一充气管路上设有第一阀体；

接入所述真空大气转换腔中的第二充气管路，所述第二充气管路上设有第二阀体；

用以判断所述真空大气转换腔中的气体压力值是否达到预设值的压力监控判断模块；

用以判断所述真空大气转换腔中的氧气浓度值是否达到预设值的氧气浓度监控判断模块；以及

用以根据所述压力监控判断模块或所述氧气浓度监控判断模块得出的判断信号，控制所述第一阀体和/或所述第二阀体的开启或关闭的控制模块，其中：

所述压力监控判断模块分别与所述真空大气转换腔和所述控制模块相连，所述氧气浓度监控判断模块分别与所述真空大气转换腔和所述控制模块相连，所述控制模块分别与所述第一阀体和所述第二阀体相连；

所述控制模块接收充气信号，其控制打开所述第一阀体，关闭所述第二阀体，通过所述第一充气管路向所述真空大气转换腔中充入非氧化性气体；

当所述压力监控判断模块判断所述真空大气转换腔中的气体压力值达到预设值时，所述控制模块控制关闭所述第一阀体，打开第二阀体，通过所述第二充气管路向所述真空大气转换腔中充入含有氧化性气体的气体；

当所述氧气浓度监控判断模块判断所述真空大气转换腔中的氧气浓度值达到预设值时，所述控制模块控制关闭所述第二阀体。

2.如权利要求1所述的真空大气转换腔的充气装置，其特征在于，所述第一充气管路充入的气体为氮气，所述第二充气管路充入的气体为压缩空气。

3.如权利要求1所述的真空大气转换腔的充气装置，其特征在于，还包括：与所述控制模块相连的用以向所述控制模块发送充气信号的计时器和/或压力器。

4.如权利要求1所述的真空大气转换腔的充气装置，其特征在于，所述压力监控判断模块至少包括压力计，所述氧气浓度监控判断模块至少包括氧气浓度计。

5.一种真空溅射设备，其特征在于，包括：进片腔室、与所述进片腔室相连的真空大气转换腔、与所述真空大气转换腔相连的加热腔室以及与所述加热腔室相连的至少一个成膜腔室，所述真空大气转换腔包括如权利要求1-4任一项所述的真空大气转换腔的充气装置。