[发明专利]一种真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备

说明书

本发明公开了一种真空大气转换腔的充气装置，包括：第一充气管路，第一充气管路上设有第一阀体；第二充气管路，第二充气管路上设有第二阀体；压力监控判断模块；氧气浓度监控判断模块；以及控制模块，其中：压力监控判断模块分别与真空大气转换腔和控制模块相连，氧气浓度监控判断模块分别与真空大气转换腔和控制模块相连，控制模块分别与第一阀体和第二阀体相连。本发明还公开了一种真空大气转换腔的充气方法和真空溅射设备。实施本发明的真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备，能够对充气的气体进行切换，在有效解决膜质氧化问题的基础上消除安全隐患。

技术领域

本发明涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备。

背景技术

现有技术中，液晶显示器具有低辐射、低功耗以及体积小等特点，逐渐成为显示器件的主流，广泛应用在手机、笔记本电脑、平板电视等产品上。随着面板尺寸逐渐增加，像素分辨率要求提高，越来越多的生产线应用更大型的真空溅射设备。一方面，该真空溅射设备具有大体积、高功率等特点，以应对更大尺寸的成膜需求。另一方面，各生产线产品对导电线阻抗降低的需求，直接引起溅射成膜厚度的增加，从而导致金属膜温度的急剧上升。

例如：现有的真空溅射成膜设备在溅射铜膜时，由相应的测定温度曲线可知，当溅射铜膜厚度增加到800nm时，基板温度最高上升到190摄氏度。由于基板温度的增加，极易引起所镀膜的氧化以及由温度引起的不均匀等各种问题，从而影响所成膜的膜质，降低设备的性能。

另一方面，为了解决氧化问题，现有技术是引入非氧化性气体进行充气，但在设备进行保养切换时，又存在容易导致检测人员窒息的安全隐患。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备，能够对充气的气体进行切换，在有效解决膜质氧化问题的基础上消除安全隐患。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种真空大气转换腔的充气装置，包括：接入真空大气转换腔中的第一充气管路，第一充气管路上设有第一阀体；接入真空大气转换腔中的第二充气管路，第二充气管路上设有第二阀体；用以判断真空大气转换腔中的气体压力值是否达到预设值的压力监控判断模块；用以判断真空大气转换腔中的氧气浓度值是否达到预设值的氧气浓度监控判断模块；以及用以根据压力监控判断模块或氧气浓度监控判断模块得出的判断信号，控制第一阀体和/或第二阀体的开启或关闭的控制模块，其中：压力监控判断模块分别与真空大气转换腔和控制模块相连，氧气浓度监控判断模块分别与真空大气转换腔和控制模块相连，控制模块分别与第一阀体和第二阀体相连；其中，控制模块接收充气信号，其控制打开第一阀体，关闭第二阀体，通过第一充气管路向真空大气转换腔中充入非氧化性气体；当压力监控判断模块判断真空大气转换腔中的气体压力值达到预设值时，控制模块控制关闭第一阀体，打开第二阀体，通过第二充气管路向真空大气转换腔中充入含有氧化性气体的气体；当氧气浓度监控判断模块判断真空大气转换腔中的氧气浓度值是否达到预设值时，控制模块控制关闭第二阀体。

其中，第一充气管路充入的气体为氮气，第二充气管路充入的气体为压缩空气。

其中，还包括：与控制模块相连的用以向控制模块发送充气信号的计时器和/或压力器。

其中，压力监控判断模块至少包括压力计，氧气浓度监控判断模块至少包括氧气浓度计。

为解决上述技术问题，本发明还公开了一种真空溅射设备，包括：进片腔室、与进片腔室相连的真空大气转换腔、与真空大气转换腔相连的加热腔室以及与加热腔室相连的至少一个成膜腔室，真空大气转换腔包括上述的真空大气转换腔的充气装置。