[发明专利]一种超薄氧化锌球壳的制备方法有效
| 申请号： | 201711447796.5 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108128799B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 石增良;王潇璇;徐春祥 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 吴飞 |
| 地址： | 210088 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 氧化锌 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种超薄氧化锌球壳的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
1)利用激光烧蚀法制备核壳结构的氧化锌@锌微球；
1a)开启激光器，调节透镜的位置，将激光光束聚焦、焦点于金属锌靶材表面；
1b)向衬底上滴加去离子水或无水乙醇，直至铺满衬底；
1c)调节激光输出功率为150～300mW，在常温空气中对金属锌靶材烧蚀2～10min；
1d)将衬底置于真空下60℃下烘干，在衬底上得到氧化锌@锌微球；
2)将制得的氧化锌@锌微球置于管式炉中，对管式炉抽真空至真空度达到100Pa，通入保护气体调节管式炉内气压，使气压稳定在100Pa；
3)设置管式炉参数为升温10～15h至500～600℃后，退火2～3h，得到超薄氧化锌球壳；所述超薄氧化锌球壳的壳壁厚度在10nm以下。
2.根据权利要求1所述的超薄氧化锌球壳的制备方法，其特征在于，步骤1b)中，所述衬底为硅片或石英片。
3.根据权利要求1所述的超薄氧化锌球壳的制备方法，其特征在于，步骤1c)中，所述激光输出功率为200～220mW，烧蚀时间为4～6min。
4.根据权利要求1所述的超薄氧化锌球壳的制备方法，其特征在于，步骤2)中，所述保护气体为惰性气体或氮气。
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