[发明专利]一种foup装置

权利要求书

1.一种foup装置，包括foup盒，所述foup盒固定在基板上，其特征在于，还包括：

上端夹持机构，所述上端夹持机构安装在所述foup盒所在的基板上，且所述上端夹持机构安装在所述foup盒的上端，用于夹持固定所述foup盒；

下端固定机构，所述下端固定机构安装在所述foup盒所在的基板上，且所述下端固定机构安装在所述foup盒的下端，用于固定所述foup盒，且所述下端固定机构和所述上端夹持机构相对设置使得所述foup盒在上下方向上无法移动；

自动解锁机构，用于自动解锁所述foup盒；

所述下端固定机构包括：滑动支撑板、下端滑块、滑道、固定支撑板、滑动气缸、下气缸连接板、伸缩气缸和锁紧夹块；所述伸缩气缸固定在所述固定支撑板上，所述伸缩气缸上伸出有伸缩杆，所述锁紧夹块固定在所述伸缩上气缸伸缩杆上；所述滑道固定安装在所述固定支撑板的上方，所述下端滑块安装在所述滑道上，所述下端滑块能在所述滑道上滑动；所述滑动支撑板固定安装在所述下端滑块上，所述滑动支撑板用于放置foup盒。

2.根据权利要求1所述的foup装置，其特征在于，还包括氮气填充系统，用于将foup盒内的空气排出。

3.根据权利要求1或2所述的foup装置，其特征在于，还包括自动门系统，用于foup盒的自动开启和关闭。

4.根据权利要求1所述的foup装置，其特征在于，所述上端夹持机构包括：夹持安装板、导轨滑块机构、滑块连接板、夹持支撑板、夹持器、上气缸连接板、上气缸和气缸支撑板，所述导轨滑块机构包括导轨和上端滑块，所述导轨与所述夹持安装板固定，所述上端滑块与所述滑块连接板固定，所述夹持支撑板固定在所述滑块连接板上且所述夹持支撑板的侧端与所述滑块连接板固定，所述上气缸通过所述气缸支撑板安装在所述夹持安装板上，所述夹持器与所述夹持支撑板连接，所述上气缸连接板与所述夹持支撑板固定，所述上气缸伸缩杆伸出并与所述上气缸连接板相接触。

5.根据权利要求1所述的foup装置，其特征在于，所述自动解锁机构包括至少两组foup盒自动解锁机构，所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上；一组foup盒自动解锁机构包括：下气缸、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承，所述轴承安装座固定或可转动地安装在所述支撑板上，所述下气缸的尾部与所述支撑板连接，所述下气缸的头部与所述解锁连接件的一端连接，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座连接，所述钥匙于所述钥匙安装座连接，所述钥匙安装座安装在所述轴承安装座上。

6.根据权利要求2所述的foup装置，其特征在于，所述氮气填充系统包括：2条或2条以上基板进气通道，所述基板进气通道设置在foup盒所在的基板上，所述基板进气通道的一头与氮气气源相通，用于氮气的传输；吹气置块，所述吹气置块与foup盒所在的基板固定连接，所述吹气置块的一面设有2个或2个以上吹气置块进气孔，所述吹气置块进气孔分别与所述基板进气通道相通，所述吹气置块的内部设有一条通气管道，所述通气管道上设有若干吹气置块吹气孔，所述吹气置块吹气孔与foup盒内相通且所述吹气置块吹气孔的吹气方向与foup盒所在的基板的基板面之间的夹角为40°-50°；基板排气通道，所述基板排气通道设置在foup盒所在的基板上，用于foup盒内的空气的排出。

7.根据权利要求3所述的foup装置，其特征在于，所述自动门系统包括：直线轴承，所述直线轴承固定在foup盒所在的基板上；浮动门盖板，所述浮动门盖板上设有真空吸盘，所述真空吸盘用于吸紧foup盒的后盖；浮动密封门，所述浮动密封门上固定有密封气缸，所述密封气缸伸缩杆和foup盒所在的基板相接触，所述直线轴承的伸缩杆与所述浮动密封门相接触，所述浮动密封门和foup盒所在的基板可以相对运动；横移气缸，所述横移气缸上安装有横移滑块，所述横移滑块在所述横移气缸的驱动下移动；横移气缸连接板，所述横移气缸连接板的一端与所述浮动密封门连接，所述横移气缸的另一端与所述横移气缸上的横移滑块连接；浮动门伸缩气缸，所述浮动门伸缩气缸设置在所述浮动密封门上并与所述浮动门盖板相连接，在所述浮动门伸缩气缸的一侧或两侧设有浮动门伸缩导轨滑块。