[发明专利]一种铜铟镓硒基系列靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201711455520.1 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108179387A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;朱刘;余芳;胡智向;曾成亮 | 申请（专利权）人： | 清远先导材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铜铟镓硒 靶材 制备 保温 粉体 促进作用 减压 降压 喷粉 热压 预压 成型 加压 | ||
1.一种铜铟镓硒基系列靶材的制备方法，包括：
A)将物料粉体在5～10MPa下进行冷预压，得到冷预压后的粉体；所述物料粉体为铜铟混合粉体、铜镓混合粉体或铜铟镓混合粉体；
B)在真空度小于3Pa的条件下，将所述冷预压后的粉体先第一次升温至300～400℃，第一次保温0.2～0.8h；再第二次升温至600～700℃，第二次保温55～65min后，开始保温加压，然后保温降压；所述保温加压的压力为45～60MPa；
C)所述保温降压后，将温度降至100～300℃，然后减压，得到铜铟镓硒基系列靶材。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述物料粉体的粒度小于100目。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述冷预压的温度为25℃～45℃。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤B)中，所述真空度为0.1Pa。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一次升温的速率为1～5℃/min。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二次升温的速率为5～8℃/min。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述保温加压，然后保温降压具体为：
所述保温加压后，卸掉所述保温加压的压力，在保温的条件下，进行自然降压；
所述保温的温度为第二次保温的温度。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述保温加压的时间为80～120min；所述保温降压的时间为40～135min。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述减压后的压力为5～10MPa。
10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中，所述减压后还包括冷却至35℃以下。
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