[发明专利]一种光刻胶清洗液

权利要求书

1.一种光刻胶清洗液，其特征在于，所述光刻胶清洗液包括以下质量百分比的组分：1％-6％的季铵氢氧化物水合物或季铵氢氧化物溶液、1％-10％的醇胺、以及余量的助溶剂；

所述季铵氢氧化物水合物或所述季铵氢氧化物溶液包括：质量百分比大于或等于80％的季铵氢氧化物。

2.根据权利要求1所述光刻胶清洗液，其特征在于，所述光刻胶清洗液还包括：质量百分比小于或等于6％的多元醇。

3.根据权利要求2所述的光刻胶清洗液，其特征在于，所述多元醇选自乙二醇、1,2-丙二醇、1,3-丙二醇、丙三醇、1,2,3,4,5-戊五醇、山梨糖醇、甘露醇中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的光刻胶清洗液，其特征在于，所述季铵氢氧化物选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、甲基三乙基氢氧化铵、三-(2-羟乙基)甲基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的光刻胶清洗液，其特征在于，所述醇胺为具有2-6个碳原子数的醇胺。

6.根据权利要求5所述的光刻胶清洗液，其特征在于，所述醇胺选自乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、正丙醇胺、二甘醇胺中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的光刻胶清洗液，其特征在于，所述助溶剂选自二甲基亚砜、N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-羟乙基吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二丙二醇单乙醚中的至少一种。