[发明专利]真空吸嘴组件有效

专利信息
申请号: 201711457674.4 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN108183084B 公开(公告)日: 2019-03-22
发明(设计)人: 饶桦强;毛辉寒 申请(专利权)人: 英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/68
代理公司: 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 代理人: 钟胜光
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 拾取 芯片 真空吸嘴组件 发生装置 非接触式 真空吸力 吸力 不接触 对准 托盘 额外空间 固定芯片 流程处理 限位机构 芯片放置 上表面 回填
【权利要求书】:

1.一种真空吸嘴组件(30),包括:

非接触式真空吸力发生装置(10),其用于产生吸力,以在不接触对象(14)的情况下,拾取和放置所述对象(14);以及

限位机构(20),其与所述非接触式真空吸力发生装置(10)连接,在所述非接触式真空吸力发生装置(10)产生吸力以拾取所述对象(14)时,通过接触所述对象(14)的边缘限制所述对象(14)的位置,其中,所述限位机构(20)还包括:

中空的固定框架(21);以及

一个或多个连接装置(22),其用于将所述固定框架(21)与所述非接触式真空吸力发生装置(10)连接;

其中,每个所述连接装置(22)从所述固定框架(21)的一个端面延伸,并且与所述非接触式真空吸力发生装置(10)连接,所述固定框架(21)和所述一个或多个连接装置(22)共同限定一空间(S),当所述连接装置(22)与所述非接触式真空吸力发生装置(10)连接时,所述非接触式真空吸力发生装置(10)能够在所述空间(S)内产生吸力。

2.根据权利要求1所述的真空吸嘴组件(30),其中,所述限位机构(20)包括从所述固定框架(21)的接近所述非接触式真空吸力发生装置(10)的一端向所述空间(S)内延伸的限位突起。

3.根据权利要求1或2所述的真空吸嘴组件(30),其中,所述一个或多个连接装置(22)是多个夹持部(22),在每个所述夹持部(22)的一端设置有第一部分(24),所述第一部分(24)具有用于支撑所述非接触式真空吸力发生装置(10)的第一表面(27)和用于在所述非接触式真空吸力发生装置(10)产生吸力以拾取所述对象(14)时限制所述对象(14)的位置的第二表面(28)。

4.根据权利要求1所述的真空吸嘴组件(30),其中,所述限位机构(20)与所述非接触式真空吸力发生装置(10)可拆卸地连接。

5.根据权利要求1所述的真空吸嘴组件(30),其中,所述限位机构(20)还包括:

在所述固定框架(21)内侧或者远离所述非接触式真空吸力发生装置(10)的一端的端面上设置的一个或多个定位部(23)。

6.根据权利要求3所述的真空吸嘴组件(30),其中,每个所述夹持部(22)还包括在与所述第一部分(24)相对的一端设置的第二部分(26),所述第二部分(26)和所述第一部分(24)用于将所述非接触式真空吸力发生装置(10)在所述第二部分(26)和所述第一部分(24)的第一表面(27)之间卡紧。

7.根据权利要求6所述的真空吸嘴组件(30),其中,所述夹持部(22)还包括设置在所述第一部分(24)和所述第二部分(26)之间的第三部分(25),当所述非接触式真空吸力发生装置(10)在所述第二部分(26)和所述第一部分(24)的第一表面(27)之间卡紧时,所述第三部分(25)的表面与所述非接触式真空吸力发生装置(10)的表面接合。

8.一种拾取和放置工具(40),包括:

气管(41),其用于输送加压气体(F);

气流控制器(42),其与所述气管(41)相连,用于控制从所述气管(41)提供的所述加压气体(F)的量;

根据权利要求1-7中任一项所述的真空吸嘴组件(30),其具有在所述非接触式真空吸力发生装置(10)上设置的气孔(11);以及

连接头(43),其位于所述气流控制器(42)和所述真空吸嘴组件(43)之间,用于连接所述气管(41)和所述气孔(11),以通过所述气管(41)向所述非接触式真空吸力发生装置(10)供应所述加压气体(F)。

9.根据权利要求8所述的拾取和放置工具(40),其中,

所述加压气体(F)包括无油空气。

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