[发明专利]一种阵列基板的过孔结构及光罩

说明书

本发明公开了一种阵列基板的过孔结构，包括：基板；形成在基板上的TFT层；TFT层上涂布有机光阻形成平坦层，平坦层通过光罩形成过孔，过孔的边缘具有至少一个形成在平坦层上的沟缝；沟缝将过孔的边缘分割成多个坡面，过孔在与多个坡面相对应的位置上依次形成坡角，使过孔整体坡角的坡度变缓。本发明还公开了一种光罩。实施本发明的阵列基板的过孔结构及光罩，阵列基板的过孔结构的边缘形成至少一个沟缝，沟缝将过孔形成在平坦层上的边缘分割成多个坡面，过孔在与多个坡面相对应的位置上依次形成坡角，进而使过孔整体坡角的坡度变缓，从而改善液晶显示面板的品质。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种阵列基板的过孔结构及光罩。

背景技术

TFT-LCD液晶显示面板技术是一种通过薄膜晶体管阵列(TFT Array)来控制液晶偏转的显示技术，像素信号由PCB板上的芯片经由数据线和扫描线抵达具体像素点，由于TFT本身存在寄生电容和电阻，因而导致信号的传输过程中存在延迟效应，近年来为了降低TFT中的寄生电容，尤其是数据线与像素ITO之间的寄生电容，业内将滤光膜生长在TFT阵列上(Color Filter on Array,COA)，既能很好的降低寄生电容，同时也能消除上下基板关于滤光膜的对位问题，但另一方面，这种COA技术，在RGB三种像素的交叠区域，存在色阻材料的交叠，从而导致交叠区域的表面不平整，也即存在牛角，导致该交叠区域的液晶导向发生偏转，产生漏光等现象，降低面板的对比度，影响面板品质。

为了改善COA面板色阻交叠区域的牛角问题，业内提出在色阻上方引入一种平坦层，来抹平交叠区域的牛角，实现平整的显示区域，从而降低像素发生漏光等现象的风险。但将色阻生长在TFT基板上，再加上平坦层，使得原有像素与第二层金属之间的导电过孔的深度较原先大了很多，从而导致过孔底部存在像素成膜缺失和像素断裂的情况，使得像素与第二层金属之间的导通出现异常。此外，在PCB与TFT的绑定区域(Bonding Area)，太深的过孔容易导致COF(Circuits on Flexible)不能与TFT上的绑定区域实现有效的接触，为了解决这一问题，业内采用在绑定区域开一个大孔的方式，但该过孔仍然太深，使得过孔边缘的过渡角太陡，存在像素光阻残留的风险，使得过孔底部的像素无法刻蚀出设定的图案，导致在边缘区域，临近Bonding Lead上方的像素发生短路，导致信号无法有效的导通。这两种情况的发生均由过孔的过渡角过大而造成。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种光罩结构，将过孔形成在平坦层上的边缘分割成多个坡面，过孔在与多个坡面相对应的位置上依次形成坡角，进而使过孔整体坡角的坡度变缓，从而改善液晶显示面板的品质。

为了解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种阵列基板的过孔结构，包括：基板；形成在基板上的TFT层；TFT层上涂布有机光阻形成平坦层，平坦层通过光罩形成过孔，过孔的边缘具有至少一个形成在平坦层上的沟缝，；沟缝将过孔的边缘分割成多个坡面，过孔在与多个坡面相对应的位置上依次形成坡角，使过孔整体坡角的坡度变缓；沟缝呈环形排布，沟缝将过孔的边缘分割成第一坡面和第二坡面，过孔在与第一坡面相对应的位置上形成第一坡角，过孔在与第二坡面相对应的位置上形成第二坡角。

其中，基板为透明基板，TFT层包括缓冲层、栅极绝缘层、层间介电层、以及分布于缓冲层,栅极绝缘层、层间介电层、及平坦层之间的有源层、栅极、及源/漏极。

其中，第一坡角的角度范围在40度-60度之间，第二坡角的角度范围在30度-50度之间。

其中，还包括：沟缝分割过孔的边缘形成的第三坡面和第四坡面，第三坡角和第四坡面的角度范围分别在30度-60度之间。