[发明专利]炉管装置

权利要求书

1.一种炉管装置，包括底座和壳体，所述底座、壳体围成适于容纳晶圆的一种炉管装置，包括底座和壳体，所述底座、壳体围成适于容纳晶圆的炉管腔，其特征在于，所述底座面向所述炉管腔的表面上设有多个适于放置晶圆的托盘；所述壳体包括侧壁和顶壁，所述侧壁包括同心设置的环形外壁和环形内壁，所述环形外壁、环形内壁和所述底座、顶壁围成呈环形形状的所述炉管腔；所述环形内壁包括沿径向方向由外向内的内导热层、内加热层和内隔热层，适于对所述炉管腔进行加热。

2.如权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述底座可旋转的设置于所述壳体，且多个所述托盘沿所述底座的周向分布。

3.如权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述托盘可旋转的设置于所述底座。

4.如权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述环形外壁包括沿径向方向由内向外的外导热层、外加热层和外隔热层，适于对所述炉管腔进行加热。

5.如权利要求4所述的炉管装置，其特征在于，所述外加热层为电加热丝；和/或，所述内加热层为电加热丝。

6.如权利要求1所述的炉管装置，其特征在于，所述环形外壁上设有适于通入工艺气体的多个通气孔，多个所述通气孔沿所述环形外壁的周向均匀设置；和/或，所述环形内壁上设有适于通入工艺气体的多个通气孔，多个所述通气孔沿所述环形内壁的周向均匀设置。

7.如权利要求1－3任一项所述的炉管装置，其特征在于，还包括通气管，所述通气管固定穿设于所述底座，连通所述炉管腔和外界，适于向所述炉管腔通入工艺气体。

8.如权利要求7所述的炉管装置，其特征在于，所述通气管为多个，多个所述通气管沿所述底座的周向均匀分布。

9.如权利要求7所述的炉管装置，其特征在于，所述通气管具有沿所述炉管腔高度方向上的多个出气口；或，所述通气管为多个，其中至少一个所述通气管的出气口靠近所述炉管腔的顶部，其中至少一个所述通气管的出气口靠近所述炉管腔的底部。