[发明专利]一种真空装置

权利要求书

1.一种真空装置，其特征在于，包括：

第一腔室，所述第一腔室设有第一通道口；

第二腔室，所述第二腔室设有第二通道口，以及分别与所述第一腔室和所述第二腔室密封相连的第三腔室，所述第一通道口和所述第二通道口分别与所述第三腔室连通，所述第三腔室中设有密封门组件；

所述密封门组件包括：能够在所述第三腔室中升降的升降机构、设置在所述升降机构上的可密封所述第一通道口的第一门体以及设置在所述升降机构上的可密封所述第二通道口的第二门体，其中：

所述第一门体受控密封所述第一通道口和/或所述第二门体同步受控密封所述第二通道口；

所述第三腔室和所述第一腔室之间设有抽真空组件，所述抽真空组件包括：连接至所述第一腔室中的第一真空泵；分别与所述第一真空泵和所述第三腔室相连的真空管路，所述真空管路中设有第一气动阀，所述第一真空泵和所述第一气动阀之间设有第二气动阀，所述第一气动阀和第三腔室之间设有第三气动阀；

所述第一门体受控密封所述第一通道口，所述第一气动阀关闭，所述第二气动阀和所述第三气动阀开启，所述第一真空泵抽真空使所述第一腔室保持真空状态，所述第三腔室与外部连通且与第一腔室形成压差；

所述升降机构包括：设在所述第三腔室中的导柱；套接在所述导柱上的移动衬套，所述第一门体和所述第二门体分别设在所述移动衬套的相对两侧；以及设在所述第三腔室的外部且与所述移动衬套相连的气缸，其中：所述气缸通过所述移动衬套联动所述第三腔室内的所述第一门体和所述第二门体往复移动。

2.如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述第二腔室接连第二真空泵，所述第二真空泵和所述第二腔室之间设有第四气动阀；

所述第二腔室还接连具有第五气动阀的管路。

3.如权利要求2所述的真空装置，其特征在于，所述第二门体受控密封所述第二通道口，所述第五气动阀关闭，所述第四气动阀开启，所述第二真空泵抽真空使所述第二腔室保持真空状态，所述第三腔室与外部连通且与所述第二腔室形成压差。

4.如权利要求2所述的真空装置，其特征在于，所述第一门体受控密封所述第一通道口和所述第二门体同步受控密封所述第二通道口；

所述第三气动阀和所述第五气动阀关闭，所述第一气动阀、所述第二气动阀以及所述第四气动阀开启，所述第一真空泵和所述第二真空泵分别抽真空使所述第一腔室、所述第二腔室及所述第三腔室保持真空状态。

5.如权利要求4所述的真空装置，其特征在于，保持所述第五气动阀关闭，将所述第一气动阀、所述第二气动阀以及所述第四气动阀关闭，所述第三气动阀开启，所述第一腔室和所述第二腔室保持真空状态，所述第三腔室与外部连通且与所述第一腔室和所述第二腔室形成压差。

6.如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述第一门体和所述第二门体上分别设有密封圈。

7.如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述第一门体和所述第二门体的形状和与各自相对应的通道口的形状相适配，使能够在所述移动衬套推动所述第一门体和所述第二门体时分别对应密封抵压在与各自相对应的通道口上；

所述第一腔室、所述第二腔室以及所述第三腔室中分别设置压力传感器。