[发明专利]一种真空装置

说明书

本发明公开了一种真空装置，包括：第一腔室，第一腔室设有第一通道口；第二腔室，第二腔室设有第二通道口，以及分别与第一腔室和第二腔室密封相连的第三腔室，第一通道口和第二通道口分别与第三腔室连通，第三腔室中设有密封门组件；密封门组件包括：能够在第三腔室中升降的升降机构、设置在升降机构上的可密封第一通道口的第一门体以及设置在升降机构上的可密封第二通道口的第二门体，其中：第一门体受控密封第一通道口和/或第二门体同步受控密封第二通道口。实施本发明的真空装置，能够分别对应密封相应的真空腔室，相互不影响腔室的真空状态，能够提高设备的作业效果；结构精简，易于维修和维护。

技术领域

本发明涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种用于显示面板生产制造中的真空装置。

背景技术

现有技术用于传动玻璃基板的真空设备因结构设计不合理，主要存在如下缺陷：

1、密封件安装在通道口两侧的腔体内壁上，对其进行更换时，需要将相应的腔室进行破真空操作，影响整机的作业效果；同时，操作人员需要在腔室内部作业，效率较低；

2、对设有密封门的腔室进行清洁和维修时，需要将相应的腔室同时破真空操作，操作人员需要在设有密封门腔室的狭窄空间内作业，效率低。

3、真空装置断电或断CDA较长时间的情况下，真空泵和升降气缸均无法工作，密封门因自重下落导致腔室通道开启，导致相应腔室破真空，复机效率降低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种真空装置，能够分别对应密封相应的真空腔室，互不影响腔室的真空状态，能够提高设备的作业效果；结构精简，易于维修和维护。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种真空装置，包括：第一腔室，第一腔室设有第一通道口；第二腔室，第二腔室设有第二通道口，以及分别与第一腔室和第二腔室密封相连的第三腔室，第一通道口和第二通道口分别与第三腔室连通，第三腔室中设有密封门组件；密封门组件包括：能够在第三腔室中升降的升降机构、设置在升降机构上的可密封第一通道口的第一门体以及设置在升降机构上的可密封第二通道口的第二门体，其中：第一门体受控密封第一通道口和/或第二门体同步受控密封第二通道口；第三腔室和第一腔室之间设有抽真空组件，抽真空组件包括：连接至第一腔室中的第一真空泵；分别与第一真空泵和第三腔室相连的真空管路，真空管路中设有第一气动阀，真空泵和第一气动阀之间设有第二气动阀，第一气动阀和第三腔室之间设有第三气动阀，第一门体受控密封第一通道口，第一气动阀关闭，第二气动阀和第三气动阀开启，第一真空泵抽真空使第一腔室保持真空状态，第三腔室与外部连通且与第一腔室形成压差；升降机构包括：设在第三腔室中的导柱；套接在导柱上的移动衬套，第一门体和第二门体分别设在移动衬套的相对两侧；以及设在第三腔室的外部且与移动衬套相连的气缸，其中：气缸通过移动衬套联动第三腔室内的第一门体和第二门体往复移动。

其中，第二腔室接连第二真空泵，第二真空泵和第二腔室之间设有第四气动阀；第二腔室还接连具有第五气动阀的管路。

其中，第二门体受控密封第二通道口，第五气动阀关闭，第四气动阀开启，第二真空泵抽真空使第二腔室保持真空状态，第三腔室与外部连通且与第二腔室形成压差。

其中，第一门体受控密封第一通道口和第二门体同步受控密封第二通道口；第三气动阀和第五气动阀关闭，第一气动阀、第二气动阀以及第四气动阀开启，第一真空泵和第二真空泵分别抽真空使第一腔室、第二腔室及第三腔室保持真空状态。

其中，保持第五气动阀关闭，将第一气动阀、第二气动阀以及第四气动阀关闭，第三气动阀开启，第一腔室和第二腔室保持真空状态，第三腔室与外部连通且与第一腔室和第二腔室形成压差。

其中，第一门体和第二门体上分别设有密封圈。