[发明专利]UV固化聚合物及其制备方法、低温固化光阻

权利要求书

1.一种UV固化聚合物，其特征在于，具有如式1所示的结构：

其中，在所示式1中，M为肉桂酸酯基团或丙烯酸酯类基团，n为20～150的整数。

2.根据权利要求1所述的UV固化聚合物，其特征在于，n为50～100的整数。

3.如权利要求1或2所述的UV固化聚合物的制备方法，其特征在于，包括步骤：

S1、将式2-1所示的聚乙烯醇酯类聚合物溶于甲苯或二甲基甲酰胺中，获得第一混合物；

在所述式2-1中，M为肉桂酸酯基团或丙烯酸酯类基团，n为20～150的整数；

S2、在加热条件下向所述第一混合物中滴加如式2-2所示的烯丙基溴丙烯酸酯单体，获得第二混合物；

S3、将所述第二混合物除杂，获得如式1所示的UV固化聚合物。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在所述步骤S2中，加热温度为40℃～60℃。

5.一种低温固化光阻，其特征在于，包括下述按质量百分数表示的各组分：

6.根据权利要求5所述的低温固化光阻，其特征在于，所述低温固化光阻还包括以下按质量百分数表示的组分：

显色分散液 8％～15％。

7.根据权利要求6所述的低温固化光阻，其特征在于，所述显色分散液为彩色颜料、彩色染料或炭黑。

8.根据权利要求7所述的低温固化光阻，其特征在于，所述彩色颜料选自偶氮颜料、萘酚系列颜料、苯并咪唑酮颜料、酞菁颜料、喹吖啶酮类颜料、蒽醌颜料、喹酞酮类颜料中的至少一种。

9.根据权利要求5-8任一所述的低温固化光阻，其特征在于，所述UV固化聚合物与所述热固化树脂的质量比为4:1。

10.根据权利要求5-8任一所述的低温固化光阻，其特征在于，所述热固化树脂为碱溶性丙烯酸树脂和/或聚乙烯醇肉桂酸酯；所述多官能单体选自如式3-1～3-4所示的物质中的至少一种；

所述光引发剂选自苯偶姻、苯偶酰类、烷基苯酮类、酰基磷氧化物、二苯甲酮类、硫杂蒽酮类中的至少一种。