[发明专利]柔性介质的切割方法有效
申请号: | 201711463521.0 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN108188590B | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 段艳强 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/402;H01L21/683;H01L21/78 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;黄进 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 介质 切割 方法 | ||
本发明公开了一种柔性介质的切割方法,其包括:提供待切割的柔性介质,所述柔性介质包括相对的第一表面和第二表面;在所述柔性介质的第一表面上贴附保护膜;将贴附有所述保护膜的所述柔性介质放置于真空吸附平台上,所述保护膜与所述真空吸附平台连接;控制所述真空吸附平台的吸附孔产生真空吸附力,将所述保护膜以及所述柔性介质吸附固定;应用激光切割工艺从所述第二表面切割所述柔性介质;剥离去除所述保护膜。本发明提供的切割方法可以避免柔性介质的边缘发生翘曲的问题,并且还可以避免真空吸附平台的表面被切割损伤。
技术领域
本发明涉及柔性显示面板的生产工艺,尤其涉及一种柔性介质的切割方法。
背景技术
有机电致发光二极管(Organic light-emitting diodes,OLED)显示面板具备自发光、对比度高、厚度薄、视角广和反应速度快等优点,是新一代平面显示技术的代表,越来越受到业界的推崇。柔性OLED显示面板是其中的一个重要发展趋势,柔性OLED显示面板不仅能够在体积上更加轻薄,而且能够降低功耗,从而有助于提升相应产品的续航能力。同时,由于柔性OLED显示面板的可弯曲性和柔韧性,其耐用程度也高于普通硬质显示面板。柔性OLED显示面板可广泛应用于各种带显示功能的产品中,例如可以应用于平板电脑、电视、移动终端和各类可穿戴式设备中。
柔性OLED显示面板在带来一系列优点的同时也具有其本身的缺陷,由于柔性基板具有挠性和热膨胀性等问题,给显示器件的加工带来不便,容易出现基板下垂,甚至产生褶皱或断裂,很难精准的进行后续膜层的制备工序。为了解决该问题,需要将柔性基板连接于刚性的基板如玻璃基板上,用以支撑和固定柔性基板以利于薄膜的形成。在柔性基板上制备形成显示面板的各层元件之后,再通过剥离工艺,将刚性基板从柔性基板上剥离开来,从而完成柔性显示面板的制备工作。
目前主流的柔性OLED显示面板的制作方法包括:
步骤S1、以玻璃基板为载体,在整面玻璃基板上涂覆一层聚酰亚胺(PI)膜作为柔性衬底,在柔性衬底上制备形成OLED显示母板,所述OLED显示母板包括多个OLED显示面板。
步骤S2、应用切割工艺,将玻璃基板以及OLED显示母板切割裂片将多个OLED显示面板相互分割,形成单片的OLED显示面板。
步骤S3、针对各个单片的OLED显示面板,应用激光剥离(Laser lift off,LLO)工艺将PI膜与玻璃基板分离,即得到柔性OLED显示面板。
以上的工艺步骤中,对于步骤S2的切割工艺,通常是使用激光切割设备。众所周知,激光切割设备是比较昂贵的并且设备的使用成本也较高,而在以上的步骤S2中,在进行激光切割工艺时还需要对玻璃基板进行切割,不仅耗费了工时和材料,也增加了激光切割设备的损耗和使用成本。
为了改善以上提到的问题,现有技术的解决方法是:首先是将包括多个OLED显示面板的OLED显示母板从玻璃基板上剥离;然后再对OLED显示母板切割将多个OLED显示面板相互分割,形成单片的柔性OLED显示面板。即,在以上的工艺步骤S1~S3中,在进行步骤S1之后,先进行步骤S3再进行步骤S2,不需要切割玻璃基板。
业内通常将从玻璃基板上剥离后的OLED显示母板称为全柔性OLED显示母板,针对全柔性显示母板的切割工艺,参阅图1和图2,首先是将全柔性OLED显示母板1吸附固定在真空吸附平台上,所述真空吸附平台1包括吸附孔2;然后应用激光切割装置3沿着预定的切割线4对全柔性OLED显示母板5进行切割,将多个OLED显示面板6(图1和图2中仅示例性示出了其中一个OLED显示面板6)相互分离。这种切割工艺存在着以下的问题:
(1)、参阅图1,切割线4(OLED显示面板6的边缘)通常位于吸附孔2之间,切割线4与吸附孔2之间具有较大的距离,对应于切割线位置的吸附力较弱,在进行激光切割工艺之后,OLED显示面板6的边缘容易产生翘曲的问题。
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