[发明专利]承载组件及切割设备、柔性介质的切割方法有效
申请号: | 201711465231.X | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN108198772B | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 段艳强 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B23Q3/08 | 分类号: | B23Q3/08 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;黄进 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 承载 组件 切割 设备 柔性 介质 方法 | ||
本发明公开了一种承载组件,用于将待切割的柔性介质连接于真空吸附平台上,所述承载组件包括支撑本体,所述支撑本体包括相对的第一表面和第二表面,所述第一表面用于承载所述柔性介质,所述第二表面用于将支撑本体连接到真空吸附平台;所述支撑本体中开设有朝向所述第一表面开口的第一槽体,所述第一槽体还连通至所述第二表面,用于将真空吸附平台产生的真空吸附力从所述第二表面传递至所述第一表面,以吸附固定所述柔性介质;所述第一槽体在所述第一表面上的开口沿着对应于所述柔性介质的切割线的轨迹延伸,以形成避让切割动作的空间。本发明还公开了一种包含如上所述承载组件切割设备,还公开了使用该切割设备的柔性介质的切割方法。
技术领域
本发明涉及柔性显示面板的生产工艺,尤其涉及一种用于切割柔性介质的承载组件及切割设备,还涉及一种柔性介质的切割方法。
背景技术
有机电致发光二极管(Organic light-emitting diodes,OLED)显示面板具备自发光、对比度高、厚度薄、视角广和反应速度快等优点,是新一代平面显示技术的代表,越来越受到业界的推崇。柔性OLED显示面板是其中的一个重要发展趋势,柔性OLED显示面板不仅能够在体积上更加轻薄,而且能够降低功耗,从而有助于提升相应产品的续航能力。同时,由于柔性OLED显示面板的可弯曲性和柔韧性,其耐用程度也高于普通硬质显示面板。柔性OLED显示面板可广泛应用于各种带显示功能的产品中,例如可以应用于平板电脑、电视、移动终端和各类可穿戴式设备中。
柔性OLED显示面板在带来一系列优点的同时也具有其本身的缺陷,由于柔性基板具有挠性和热膨胀性等问题,给显示器件的加工带来不便,容易出现基板下垂,甚至产生褶皱或断裂,很难精准的进行后续膜层的制备工序。为了解决该问题,需要将柔性基板连接于刚性的基板如玻璃基板上,用以支撑和固定柔性基板以利于薄膜的形成。在柔性基板上制备形成显示面板的各层元件之后,再通过剥离工艺,将刚性基板从柔性基板上剥离开来,从而完成柔性显示面板的制备工作。
目前主流的柔性OLED显示面板的制作方法包括:
步骤S1、以玻璃基板为载体,在整面玻璃基板上涂覆一层聚酰亚胺(PI)膜作为柔性衬底,在柔性衬底上制备形成OLED显示母板,所述OLED显示母板包括多个OLED显示面板。
步骤S2、应用切割工艺,将玻璃基板以及OLED显示母板切割裂片将多个OLED显示面板相互分割,形成单片的OLED显示面板。
步骤S3、针对各个单片的OLED显示面板,应用激光剥离(Laser lift off,LLO)工艺将PI膜与玻璃基板分离,即得到柔性OLED显示面板。
以上的工艺步骤中,对于步骤S2的切割工艺,通常是使用激光切割设备。众所周知,激光切割设备是比较昂贵的并且设备的使用成本也较高,而在以上的步骤S2中,在进行激光切割工艺时还需要对玻璃基板进行切割,不仅耗费了工时和材料,也增加了激光切割设备的损耗和使用成本。
为了改善以上提到的问题,现有技术的解决方法是:首先是将包括多个OLED显示面板的OLED显示母板从玻璃基板上剥离;然后再对OLED显示母板切割将多个OLED显示面板相互分割,形成单片的柔性OLED显示面板。即,在以上的工艺步骤S1~S3中,在进行步骤S1之后,先进行步骤S3再进行步骤S2,不需要切割玻璃基板。
业内通常将从玻璃基板上剥离后的OLED显示母板称为全柔性OLED显示母板,针对全柔性显示母板的切割工艺,参阅图1和图2,首先是将全柔性OLED显示母板1吸附固定在真空吸附平台上,所述真空吸附平台1包括吸附孔2;然后应用激光切割装置3沿着预定的切割线4对全柔性OLED显示母板5进行切割,将多个OLED显示面板6(图1和图2中仅示例性示出了其中一个OLED显示面板6)相互分离。这种切割工艺存在着以下的问题:
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