[发明专利]蒸镀用掩模板

说明书

本发明提供了一种蒸镀用掩模板，包括板体，所述板体包括一蒸镀面以及与蒸镀面相对的接触面，所述板体上阵列排布有用于蒸镀的蒸镀通孔，所述板体上位于蒸镀通孔之间的这部分板体为第一遮挡部，所述蒸镀通孔贯穿蒸镀面以及接触面，所述蒸镀通孔的开口尺寸小于有机发光二极管面板中隔离柱之间的开口尺寸，从而使蒸镀通孔上形成第二遮挡部。与现有技术相比，通过将蒸镀通孔的开口尺寸设计为小于隔离柱间的开口尺寸，从而使位于有机发光层中间位置的有机发光层的厚度得以降低，实现中间位置的厚度与靠近隔离柱位置的厚度相对均匀，提高蒸镀的均匀性，从而提高产品的良率。

技术领域

本发明涉及一种显示面板技术，特别是一种显示器件的蒸镀用掩模板。

背景技术

有机发光二极管器件(OLED，Organic Light Emitting Diode)与传统的液 晶显示器相比，具有更低的功耗，同时还拥有高亮度、高响应速度和宽色域， 已经成为显示领域目前的主流器件。

不同于液晶显示器，OLED是自发光器件，传统的OLED显示器像素点的 着色方式是将红色、绿色、蓝色三通有机材料通过蒸镀的方式沉积在基板对应 的像素位置上，为了防止相互颜色间接触造成短路，会设置隔离柱进行隔离， 在有机材料的蒸镀过程中需要用到一种蒸镀掩膜板(蒸镀MASK)，该中蒸镀掩 膜板为在对应像素电的位置上开设蒸镀通孔，为了保证蒸镀的效果，会将蒸镀 通孔的开口尺寸设计为大于隔离柱间的开口尺寸，从而保证蒸镀能够完全填充 相应的基板位置上，但是这样的蒸镀方式存在，由于开口尺寸过大，导致蒸镀 后像素点位置上的有机发光层中间的厚度大于靠近隔离柱的厚度，导致蒸镀不 均匀，容易出现产品良率低的问题。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供一种蒸镀用掩没板，提高蒸镀的均匀 性，从而提高产品的良率。

本发明提供了一种蒸镀用掩模板，包括板体，所述板体包括一蒸镀面以及 与蒸镀面相对的接触面，所述板体上阵列排布有用于蒸镀的蒸镀通孔，所述板 体上位于蒸镀通孔之间的这部分板体为第一遮挡部，所述蒸镀通孔贯穿蒸镀面 以及接触面，所述蒸镀通孔的开口尺寸小于有机发光二极管面板中隔离柱之间 的开口尺寸，从而使蒸镀通孔上形成第二遮挡部。

进一步地，所述蒸镀通孔的的孔壁为光滑表面。

进一步地，所述蒸镀通孔位于蒸镀面的一侧开口的开口尺寸大于位于接触 面的一侧开口的开口尺寸，形成截面为倒梯形的蒸镀通孔。

进一步地，所述蒸镀通孔为阶梯孔，包括第一孔和第二孔，所述第一孔设 于蒸镀面的一侧，第二孔设于接触面的一侧，所述第一孔的开口尺寸大于第二 孔的开口尺寸。

进一步地，所述蒸镀面以及蒸镀通孔的孔壁上设有不粘涂层。

进一步地，所述板体的材料为金属合金。

进一步地，所述金属合金为铁镍合金、镍钴合金或者铁钴合金中的任意一 种。

进一步地，所述不粘涂层为氧化铝陶瓷膜或二氧化钛陶瓷膜。

本发明与现有技术相比，通过将蒸镀通孔的开口尺寸设计为小于隔离柱间 的开口尺寸，从而使位于有机发光层中间位置的有机发光层的厚度得以降低， 实现中间位置的厚度与靠近隔离柱位置的厚度相对均匀，提高蒸镀的均匀性， 从而提高产品的良率。

附图说明

图1是本发明蒸镀用掩模板的第一种结构示意图；

图2是本发明蒸镀用掩模板的第二种结构示意图；

图3是本发明蒸镀用掩模板的第三种结构示意图；

图4是本发明蒸镀用掩模板的第四种结构示意图；

图5是本发明蒸镀用掩模板的第五种结构示意图；