[发明专利]利用微机电工艺制造气体检测器的方法

权利要求书

1.一种利用微机电工艺制造气体检测器的方法，其特征在于，所述方法包含以下步骤：

S1：提供一微机电系统晶圆，该微机电系统晶圆具多个彼此相邻的单元，所述单元分别具有一顶部、一自该顶部周缘延伸的侧挡部以及一由该顶部、该侧挡部围绕而形成的底槽，彼此相邻的所述单元的所述侧挡部彼此相连接；

S2：形成一气体感应材料层在该微机电系统晶圆远离该底槽的一侧；

S3：利用阳极接合，在负压环境将一结构强化层与该微机电系统晶圆接合，且该结构强化层覆盖住所述底槽，其中该结构强化层的材质选自于普通玻璃、硼硅玻璃及其组合所组成的群组；

S4：设置一黏结胶带在该结构强化层远离该微机电系统晶圆的一侧；

S5：沿着所述单元的所述侧挡部连接处进行切割，同时切割该结构强化层与该黏结胶带，切割出多个各包含该底槽的气体检测单元；以及

S6：通过该黏结胶带使该气体检测单元黏结在一基板上，形成一气体检测器。

2.如权利要求1所述的利用微机电工艺制造气体检测器的方法，其特征在于，该结构强化层的厚度介于1毫米至0.2毫米之间。

3.如权利要求1所述的利用微机电工艺制造气体检测器的方法，其特征在于，在步骤S6中还包含以下步骤：

S6A：利用一吸引装置自该微机电系统晶圆的一侧吸取该气体检测单元，并将该气体检测单元位移对应至该基板；以及

S6B：通过该黏结胶带使该气体检测单元黏结在该基板上，而形成该气体检测器。

4.一种利用微机电工艺制造多种类气体检测器的方法，其特征在于，所述方法包含以下步骤：

P1：提供一微机电系统晶圆，该微机电系统晶圆具多个彼此相邻的检测模组，所述检测模组各包含多个单元，所述单元分别具有一顶部、一自该顶部周缘延伸的侧挡部以及一由该顶部、该侧挡部围绕而形成的底槽，彼此相邻的所述单元的所述侧挡部彼此相连接；

P2：形成一气体感应材料层在该微机电系统晶圆远离该底槽的一侧，该气体感应材料层具有多种不同的气体感应材料，不同的所述气体感应材料分别形成在不同的该单元上；

P3：利用阳极接合在负压的环境下将一结构强化层与该微机电系统晶圆接合，且该结构强化层覆盖住所述底槽，其中该结构强化层的材质选自于普通玻璃、硼硅玻璃及其组合所组成的群组；

P4：设置一黏结胶带在该结构强化层远离该微机电系统晶圆的一侧；

P5：沿着所述检测模组彼此间的连接处进行切割，并同时切割该结构强化层与该黏结胶带，而切割出多个多种类气体检测单元；以及

P6：通过该黏结胶带使该多种类气体检测单元黏结在一基板上而形成一多种类气体检测器。

5.如权利要求4所述的利用微机电工艺制造多种类气体检测器的方法，其特征在于，该结构强化层的厚度介于1毫米至0.2毫米之间。

6.如权利要求4所述的利用微机电工艺制造多种类气体检测器的方法，其特征在于，在步骤P6之中还包含以下步骤：

P6A：利用一吸引装置自该微机电系统晶圆的一侧吸取该多种类气体检测单元，并将该多种类气体检测单元位移对应至该基板；以及

P6B：通过该黏结胶带使该多种类气体检测单元黏结在该基板上，而形成该多种类气体检测器。