[发明专利]利用微机电工艺制造气体检测器的方法

说明书

一种利用微机电工艺制造气体检测器的方法，包括提供一具多个彼此相邻单元的微机电系统晶圆、形成一气体感应材料层在该微机电系统晶圆上、将一结构强化层与该微机电系统晶圆阳极接合、设置一黏结胶带再切割而产出气体检测单元、最后通过该黏结胶带使该气体检测单元黏结在一基板上而形成一气体检测器。该结构强化层的设置可提高元件的强度、防止崩边，进而提高整体优良率并降低成本。

技术领域

本发明涉及一种气体检测器，尤指一种利用微机电工艺制造气体检测器的方法。

背景技术

微机电系统(MEMS)是融合微电子与机械的技术，为进行感测或执行功能的关键零组件，已广泛地应用在加速计、检测器、致动器等日常用品中，近年来甚至往微小化方向着手，如美国发明专利公告第US9，249，008号的「具多重电极的微机电装置及其制作方法」，教示其第一电极、第二电极及第三电极的特殊配置，使得如差压传感器、差分气压计、去耦电容器等MEMS器件得以小型化。

为有效集中热源，一般微机电工艺通常会设计一个可容纳空气的凹槽，然此凹槽使整体元件的强度减低，在后续加工时容易在切割时产生崩边，导致凹槽内容易积累切割产生的残留物或清洁液，使优良率下降、成本提高。

此外，若要感测多种气体，得重复进行多次步骤以装设多颗微机电感测器，但此举不仅增加制作成本也拉长工艺时间，因此，亟需持续研究以解决上述问题。

发明内容

本发明的主要目的，在于解决因凹槽使整体元件强度降低，导致切割时容易产生崩边，导致优良率下降及成本提高的问题。

本发明的另一目的在于解决传统制作多种气体的微机电感测器时需重复步骤，增加制作成本及工艺时间的缺点。

为达上述目的，本发明提供一种利用微机电工艺制造气体检测器的方法，包含以下步骤：

S1：提供一微机电系统晶圆，该微机电系统晶圆具多个彼此相邻的单元，该单元分别具有一顶部、一自该顶部周缘延伸的侧挡部以及一由该顶部、该侧挡部围绕而形成的底槽，这些单元的这些侧挡部彼此相连接；

S2：形成一气体感应材料层在该微机电系统晶圆远离该底槽的一侧；

S3：利用阳极接合将一结构强化层与该微机电系统晶圆接合，且该结构强化层覆盖住这些底槽：

S4：设置一黏结胶带在该结构强化层远离该微机电系统晶圆的一侧；

S5：沿着这些单元的这些侧挡部连接处进行切割，并同时切割该结构强化层与该黏结胶带，而切割出多个各包含该底槽的气体检测单元；以及

S6：通过该黏结胶带使该气体检测单元黏结在一基板上，而形成一气体检测器。

为达上述目的，本发明还提供一种利用微机电工艺制造多种类气体检测器的方法，包含以下步骤：

P1：提供一微机电系统晶圆，该微机电系统晶圆具多个彼此相邻的检测模组，这些检测模组各包含多个单元，这些单元分别具有一顶部、一自该顶部周缘延伸的侧挡部以及一由该顶部、该侧挡部围绕而形成的底槽，这些单元的这些侧挡部彼此相连接；

P2：形成一气体感应材料层在该微机电系统晶圆远离该底槽的一侧，该气体感应材料层具有多种分别形成在不同的该单元的气体感应材料；

P3：利用阳极接合将一结构强化层与该微机电系统晶圆接合，且该结构强化层覆盖住这些底槽；

P4：设置一黏结胶带在该结构强化层远离该微机电系统晶圆的一侧；

P5：沿着这些检测模组彼此间的连接处进行切割，并同时切割该结构强化层与该黏结胶带，而切割出多个多种类气体检测单元；以及

P6：通过该黏结胶带使该多种类气体检测单元黏结在一基板上，而形成一多种类气体检测器。