[发明专利]一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法有效
申请号: | 201711490822.2 | 申请日: | 2017-12-30 |
公开(公告)号: | CN108231612B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 龚利汀;左勇强;易琼红 | 申请(专利权)人: | 无锡固电半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 npn 功率 晶体管 封装 制作方法 | ||
1.一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一. 装片:选取被封装芯片(3),将被封装芯片(3)装到引线框架(1)内;
所述步骤一中装片的具体过程为:
a. 升温过程:引线框架(1)匀速进入自动装片机轨道,经过4段阶梯升温区,到达点锡区,温度升至焊料熔融温度370度;
b. 通过步进电机控制XY平台移动,使引线框架(1)移动到点锡器下方,利用多点点锡技术,控制点锡器在引线框架(1)上点五滴焊料;
c. 继续运送到达整型区,对焊料进行压模整型,形成焊料层(2);
d. 继续运送到达粘片区,采用焊接头上的橡胶吸嘴(4)吸取被封装芯片(3),利用多点装片拔高技术,将被封装芯片(3)通过焊料层(2)焊接到引线框架(1)上;
所述多点装片拔高技术,具体为:
(1)焊接头带动被封装芯片(3)快速到达焊料层(2)表面上方45~55微米处;
(2)以垂直与焊料层(2)表面的方向,继续慢速带动被封装芯片(3)下压到焊料层(2)表面;
(3)带动被封装芯片(3)继续下压到焊料层(2)表面下方18~22微米处;
(4)在设定的2ms内,焊接头快速带动被封装芯片(3)垂直向上拔高18~22微米,到达焊料层(2)表面;
(4)橡胶吸嘴(4)关闭真空,释放被封装芯片(3);
e. 继续运送到达降温区,进行阶梯降温,然后出料;
步骤二. 键合:采用全自动超声键合,通过键合引线将芯片电极与引线框架(1)的引线脚焊接;
步骤三. 塑封:采用高导热性能环氧树脂塑封模具,将被封装芯片(3)上方包封起来,露出引线脚;
步骤四. 后固化,将塑封后的芯片放入恒温烘箱内进行固化;
步骤五. 去溢料;采用软化液进行飞边软化,然后在全自动高压喷淋设备中去除溢料;软化液进行飞边软化过程中的温度设定为110℃±5℃,所述全自动高压喷淋设备的压力设定为11-12Mpa;
步骤六. 电镀锡:在引线框架(1)表面电镀一层锡;
步骤七. 切筋:采用两次分段式切筋,将若干个连在一起的引线框架(1)分隔开;
步骤八. 测试后包装出库。
2.根据权利要求1所述的一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法,其特征在于,在整个装片运送过程中,运送轨道中通入氢气和氮气混合保护气体,通过调压阀控制通入的氢气和氮气压力均为0.2Mpa,通过流量计控制通入氢气流量为1L/min,氮气流量为8L/min。
3.根据权利要求1所述的一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法,其特征在于,所述步骤二中,所述键合引线采用纯铝丝,所述纯铝丝与芯片电极的焊接功率设定为540mW,焊接压力设定220g,焊接时间为120ms;所述纯铝丝与引线脚焊接功率设定为650mW,焊接压力设定为320g,焊接时间为120ms。
4.根据权利要求1所述的一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法,其特征在于,步骤三中,所述塑封过程中温度控制在175℃±5℃。
5.根据权利要求1所述的一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法,其特征在于,步骤四中,所述固化过程中固化时间设定为6小时,固化温度设定为165℃±5℃,且固化后高温储存24h,存储的温度设定为150℃±5℃。
6.根据权利要求1所述的一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法,其特征在于,步骤六中,所述电镀锡层的厚度不小于7 微米,且电镀的温度设定为8-10℃,电镀的时间设定为7-9分钟。
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