[发明专利]反射式激光光栅位移传感器在审
| 申请号： | 201711496955.0 | 申请日： | 2017-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN108007363A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杜金昌 | 申请（专利权）人： | 杜金昌 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611630 四川省成都市蒲江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 激光 光栅 位移 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.反射式激光光栅位移传感器，涉及一种位移传感器，其特征在于，基本构造光路包含发散角小于0.3°的平行线偏振光源，偏振分光棱镜，1/4波片，主光栅，副光栅，光电传感器。
2.如权利要求1所述反射式激光光栅位移传感器，其特征在于，平行线偏振光源与偏振分光棱镜之间存在有偏光片。
3.如权利要求1所述反射式激光光栅位移传感器，其特征在于，副光栅与光电传感器之间存在有偏光片。
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