[实用新型]高速甩臂机构有效
申请号: | 201720005081.3 | 申请日: | 2017-01-03 |
公开(公告)号: | CN206401286U | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 向军 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司32280 | 代理人: | 袁兴隆 |
地址: | 214000 江苏省无锡市滨湖区隐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高速 机构 | ||
1.一种高速甩臂机构,包括第一驱动电机(1)、固定平台(2)和甩臂(3),所述第一驱动电机(1)安装在所述固定平台(2)上,所述第一驱动电机(1)的输出轴(9)竖直向下,其特征在于:还包括连接座(4)、第一直线导向装置、连接杆(5)、第二直线导向装置、支架(6)和上下驱动装置,所述第一直线导向装置竖直设置,通过所述第一直线导向装置将所述连接座(4)和所述第一驱动电机(1)的输出轴(9)连接;所述连接座(4)的底板上设有轴承(7);通过所述第二直线导向装置将所述支架(6)和所述固定平台(2)连接;所述上下驱动装置固定设置在所述固定平台(2)上可以驱动所述支架(6)上下运动;所述连接杆(5)的上端和所述轴承(7)的内圈固定连接,所述连接杆(5)的下端和所述支架(6)固定连接;所述甩臂(3)的前端设有取晶端(8),后端和所述连接座(4)固定连接。
2.如权利要求1所述的高速甩臂机构,其特征在于:所述第一直线导向装置包括第一导轨(10)和第一滑块(11),所述第一导轨(10)竖直固定设置在所述第一驱动电机(1)的输出轴(9)上,所述第一滑块(11)安装在第一导轨(10)上并和所述连接座(4)固定连接。
3.如权利要求2所述的高速甩臂机构,其特征在于:所述第二直线导向装置包括第二导轨(13)和第二滑块(12),所述第二导轨(13)竖直固定设置在所述固定平台(2)上,所述第二滑块(12)安装在第二导轨(13)上并和所述支架(6)固定连接。
4.如权利要求1所述的高速甩臂机构,其特征在于:所述上下驱动装置包括第二驱动电机(14)和弹簧(15),所述第二驱动电机(14)的输出轴(16)水平设置并设置在所述支架(6)的上方,所述第二驱动电机(14)的输出轴(16)上设有偏心轮(17);所述弹簧(15)一端连接在固定平台(2)上,另一端连 接在所述支架(6)上;所述弹簧(15)将所述支架(6)沿着所述第二直线导向装置向上提拉,使得所述支架(6)的上壁和所述偏心轮(17)的轮缘贴紧。
5.如权利要求1所述的高速甩臂机构,其特征在于:所述取晶端(8)设有真空吸嘴。
6.如权利要求4所述的高速甩臂机构,其特征在于:所述支架(6)的上壁设有球头(18),所述弹簧(15)向上提拉所述支架(6),将所述球头(18)贴紧在所述偏心轮(17)的轮缘上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造