[实用新型]一种合金材料真空溅射镀膜机

权利要求书

1.一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：包括镀膜机开口端（100）、镀膜腔体（200）和镀膜机尾部（300），所述镀膜机开口端（100）和镀膜腔体（200）之间通过连接部件连接，所述镀膜腔体（200）和镀膜机尾部（300）之间通过连接部件连接，所述镀膜机开口端（100）和镀膜腔体（200）之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体（200）和镀膜机尾部（300）之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体（200）的环状内表面铺设有溅射靶材（202），所述镀膜腔体（200）的中间开口处的内侧设有防溅射环（201），所述防溅射环（201）内侧表面铺设有橡胶密封圈。

2.根据权利要求1所述的一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：所述镀膜机开口端（100）包括轴封（101）、轴封绝缘连接件（102）、溅射挡板一（103）、端部法兰一（104）和绝缘垫板一（105），所述轴封（101）内部设有密封圈，所述轴封（101）和端部法兰一（104）之间通过连接部件连接，所述轴封（101）和端部法兰一（104）之间设有密封圈，所述端部法兰一（104）和绝缘垫板一（105）之间设有橡胶密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：所述镀膜腔体（200）包括防溅射环（201）、溅射靶材（202）、冷却水套（203）、磁体组件（204）和外壳（205），所述防溅射环（201）的长度为溅射靶材（202）长度的1/4～1/3，所述磁体组件（204）按矩阵等间距排列在外壳（205）的内表面上。

4.根据权利要求1所述的一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：所述镀膜机尾部（300）包括溅射挡板二（301）、绝缘垫板二（302）、端部法兰二（303），所述端部法兰二（303）上设有功能接口（304）和抽气口（305），所述功能接口（304）位于抽气口（305）的两侧，所述绝缘垫板二（302）和端部法兰二（303）之间设有密封圈。

5.根据权利要求1所述的一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：所述的连接部件为螺栓、卡销或键。

6.根据权利要求3所述的一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：所述外壳（205）的制作材料为不锈钢材质。

7.根据权利要求1或3所述的一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：所述溅射靶材（202）的材料为金属材质、非金属材质或合金材质。

8.根据权利要求3所述的一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：所述冷却水套（203）内设有冷凝水或冷凝气。

9.根据权利要求2所述的一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：所述轴封（101）的制作材料为聚四氟乙烯绝缘材料。