[实用新型]一种合金材料真空溅射镀膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜机，具体涉及一种合金材料真空溅射镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要是在较高真空度下进行镀膜，镀的材料为靶材，对零件进行镀膜，传统的镀膜机中的靶材都是排列在镀膜机内，不仅减小了内部空间，而且使得镀膜厚度不均匀，而且市场上有些镀膜机为一体式的，不便于拆卸安装，并且被镀器件都是插入镀膜机内，当镀完膜后拔出被镀器件时，容易对镀膜层造成磨损，同时镀膜机的密封性和镀膜效果不好，镀膜部分的面积较难控制，所以市场上需要开发一种新型的镀膜机装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供了一种合金合金材料真空溅射镀膜机，便于拆卸安装，提高了镀膜效果。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：

一种合金材料真空溅射镀膜机，包括镀膜机开口端、镀膜腔体和镀膜机尾部，所述镀膜机开口端和镀膜腔体之间通过连接部件连接，所述镀膜腔体和镀膜机尾部之间通过连接部件连接，所述镀膜机开口端和镀膜腔体之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体和镀膜机尾部之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体的环状内表面铺设有溅射靶材，所述镀膜腔体的中间开口处的内侧设有防溅射环，所述防溅射环内侧表面铺设有橡胶密封圈。

进一步，所述镀膜机开口端包括轴封、轴封绝缘连接件、溅射挡板一、端部法兰一和绝缘垫板一，所述轴封内部设有密封圈，所述轴封和端部法兰一之间通过连接部件连接，所述轴封和端部法兰一之间设有密封圈，所述端部法兰一和绝缘垫板一之间设有橡胶密封圈。

进一步，所述镀膜腔体包括防溅射环、溅射靶材、冷却水套、磁体组件和外壳，所述防溅射环的长度为溅射靶材长度的1/4～1/3，所述磁体组件按矩阵等间距排列在外壳的内表面上。

进一步，所述镀膜机尾部包括溅射挡板二、绝缘垫板二、端部法兰二，所述端部法兰二上设有功能接口和抽气口，所述功能接口位于抽气口的两侧，所述绝缘垫板二和端部法兰二之间设有密封圈。

进一步，所述的连接部件为螺栓、卡销或键。

进一步，所述外壳的制作材料为不锈钢材质。

进一步，所述溅射靶材的材料为金属材质、非金属材质或合金材质。

进一步，所述冷却水套内设有冷凝水或冷凝气。

进一步，所述轴封的制作材料为聚四氟乙烯绝缘材料。

本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单，适用于性广，便于拆卸安装，方便安装和拆卸下镀膜零部件，防止镀膜零部件镀膜层的磨损，提高了镀膜层的均匀度，便于对镀膜区域的控制，实现对单一磁控溅射源非合金材料进行镀膜，提高了镀膜器件的硬度、机械特性、抗腐蚀性，有效保证了镀膜空腔中的气密性。

附图说明

图1为本实用新型一种合金材料真空溅射镀膜机的内部结构剖面图 。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

一种合金材料真空溅射镀膜机，包括镀膜机开口端100、镀膜腔体200和镀膜机尾部300，所述镀膜机开口端100和镀膜腔体200之间通过连接部件连接，所述镀膜腔体200和镀膜机尾部300之间通过连接部件连接，所述镀膜机开口端100和镀膜腔体200之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体200和镀膜机尾部300之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体200的环状内表面铺设有溅射靶材202，所述镀膜腔体200的中间开口处的内侧设有防溅射环201，所述防溅射环201内侧表面铺设有橡胶密封圈，所述的连接部件为螺栓、卡销或键，所述溅射靶材202的材料为金属材质、非金属材质或合金材质。

所述镀膜机开口端100包括轴封101、轴封绝缘连接件102、溅射挡板一103、端部法兰一104和绝缘垫板一105，所述轴封101内部设有密封圈，所述轴封101和端部法兰一104之间通过连接部件连接，所述轴封101和端部法兰一104之间设有密封圈，所述端部法兰一104和绝缘垫板一105之间设有橡胶密封圈，所述轴封101的制作材料为聚四氟乙烯绝缘材料。

所述镀膜腔体200包括防溅射环201、溅射靶材202、冷却水套203、磁体组件204和外壳205，所述防溅射环201的长度为溅射靶材202长度的1/4～1/3，所述磁体组件204按矩阵等间距排列在外壳205的内表面上，所述外壳205的制作材料为不锈钢材质，所述冷却水套203内设有冷凝水或冷凝气。