[实用新型]清洁装置有效

专利信息
申请号: 201720038126.7 申请日: 2017-01-11
公开(公告)号: CN206632011U 公开(公告)日: 2017-11-14
发明(设计)人: 邢滨;柏耸 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B15/04
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 屈蘅,李时云
地址: 300385 天津市西青*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 清洁 装置
【权利要求书】:

1.一种清洁装置,用于清洗一表面,其特征在于,包括一本体,所述本体具有一工作区域,连接在所述本体上的第一工作部分和第二工作部分;所述第一工作部分向所述工作区域注入液体,所述第二工作部分从所述工作区域抽取液体。

2.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,还包括连接在所述本体上的第三工作部分,所述第三工作部分对所述工作区域进行密封。

3.如权利要求2所述的清洁装置,其特征在于,所述第一工作部分设置在所述本体中央区域,所述第二工作部分包围所述第一工作部分,所述第三工作部分包围在所述第二工作部分的四周。

4.如权利要求3所述的清洁装置,其特征在于,所述本体呈圆柱形,上表面具有一突起以形成有一高面和一低面,所述第一工作部分设置在所述高面上,所述第二工作部分和第三工作部分设置在所述低面上。

5.如权利要求3所述的清洁装置,其特征在于,所述本体中具有多个输液通道,一部分所述输液通道的一端与第一工作部分相连接,另一部分所述输液通道的一端与第二工作部分相连接,所有所述输液通道的另一端连接所述工作区域。

6.如权利要求5所述的清洁装置,其特征在于,所述输液通道横截面为圆形,所述圆形的直径为10mm-30mm。

7.如权利要求5所述的清洁装置,其特征在于,所述第一工作部分包括注水泵和注水管,所述注水管连接一部分所述输液通道的一端和所述注水泵。

8.如权利要求7所述的清洁装置,其特征在于,所述第二工作部分包括抽水泵和抽水管,所述抽水管连接另一部分所述输液通道的一端和所述抽水泵。

9.如权利要求8所述的清洁装置,其特征在于,所述抽水管的数量为多个,排列成圆周状围绕所述第一工作部分。

10.如权利要求2所述的清洁装置,其特征在于,所述第三工作部分包括气泵和气管,所述气管连接所述气泵和所述本体。

11.如权利要求10所述的清洁装置,其特征在于,所述本体中具有输气通道,所述输气通道贯穿所述本体,所述输气通道的进气端与所述气管相连接,所述输气通道的出气端与所述工作区域间隔设置。

12.如权利要求11所述的清洁装置,其特征在于,所述输气通道的出气端呈环形。

13.如权利要求11所述的清洁装置,其特征在于,所述输气通道的出气端比进气端窄。

14.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述工作区域为一凹陷,所述凹陷的开口面向所述表面。

15.如权利要求14所述的清洁装置,其特征在于,所述凹陷深度为8mm-20mm。

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