[实用新型]一种用于板式PECVD的石墨框有效
| 申请号： | 201720071874.5 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN206858654U | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 焦哲 | 申请（专利权）人： | 隆基乐叶光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;H01L31/18 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710018 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 板式 pecvd 石墨 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于板式PECVD的石墨框，其特征在于：所述石墨框采用石墨碳纤维板，包括由边框(1)合围而成的框体和设置在所述框体内的数个筋条(2)，所述边框(1)的宽度为30～40mm，厚度为6.5±0.01mm，所述筋条(2)呈交错分布，构成若干石墨网格(3)，所述石墨网格(3)为五排十一列，所述筋条(2)的筋条宽度为4±0.05mm，厚度为6.5±0.01mm，所述石墨网格(3)为具有倒角的正方形孔，宽度为159±0.1mm。
2.根据权利要求1所述的一种用于板式PECVD的石墨框，其特征在于：两个所述石墨网格(3)的孔中心间距为163±0.1mm。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
