[实用新型]一种曝光机的智能对位开合装置有效
申请号: | 201720082481.4 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN206411420U | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
发明(设计)人: | 陈振才 | 申请(专利权)人: | 东莞市多普光电设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 深圳市惠邦知识产权代理事务所44271 | 代理人: | 殷齐齐 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 智能 对位 装置 | ||
1.一种曝光机的智能对位开合装置,其特征在于,包括机座,在所述机座内设置有第一升降组件,所述第一升降组件连接有开合主座,在所述开合主座上设置有自动对位组件以及多个CCD对位组件,所述自动对位组件连接有下框架组件,在所述开合主座上方设置有上框架组件,所述上框架组件固设于第二连接座上,在所述第二连接座的一侧设置有张开组件,所述开合主座和第二连接座上设置于用于配合CCD对位组件的对位视窗,所述CCD对位组件设置于所述对位视窗的下方。
2.根据权利要求1所述的曝光机的智能对位开合装置,其特征在于:所述第一升降组件包括设置于机座上的升降马达,所述升降马达通过第一齿轮箱啮合连接有传动轴,所述传动轴连接有第二传动齿轮箱,所述第二传动齿轮箱连接有第二传动丝杆,所述第二传动丝杆上设置有丝杆螺母,所述丝杆螺母与所述开合主座连接,所述开合主座的两端分别连接有第一导轨,所述第一导轨设置于设有的机座上。
3.根据权利要求2所述的曝光机的智能对位开合装置,其特征在于:所述开合主座上还设置有升降气缸,所述升降气缸连接有第一连接座,所述自动对位组件设置于所述第一连接座上。
4.根据权利要求3所述的曝光机的智能对位开合装置,其特征在于:所述自动对位组件包括对位电机,所述对位电机通过联轴器连接有对位丝杆,所述对位丝杆连接有对位螺母,所述对位螺母与所述第一连接座连接。
5.根据权利要求1所述的曝光机的智能对位开合装置,其特征在于:所述张开组件包括固设于第二连接座上的支撑骨架,所述支撑骨架上设置有张开气缸,所述张开气缸连接有滑动件,所述滑动件连接有一“凹”形连接件,该连接件固设于上框架组件上。
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