[实用新型]一种坩埚有效
申请号: | 201720105076.X | 申请日: | 2017-01-24 |
公开(公告)号: | CN206396318U | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 全威;吴长晏 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 坩埚 | ||
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域,特别涉及一种坩埚。
背景技术
OLED显示器件具有自发光、结构简单、轻薄、响应速度快、视角较宽、可实现柔性显示等优点,目前已在手机等终端产品中得到广泛的应用。OLED显示器件现在主要采用真空蒸镀法制备,其原理为加热蒸镀材料至一定温度,使其升华后透过掩膜板上的开孔沉积在基板上,从而形成OLED显示器件的膜层。
目前通常采用坩埚对蒸镀材料进行加热,在蒸镀过程中,蒸镀材料置于坩埚内部,通过设置在坩埚外部的加热装置对坩埚进行加热,从而使坩埚内的蒸镀材料受热。在蒸镀材料的加热过程中,位于最外层的蒸镀材料首先受热,然后再将热量传导至内部的蒸镀材料,在坩埚较大或蒸镀材料较多时,热量的传导过程较慢,易导致蒸镀材料受热不均,会使部分过热的蒸镀材料产生变性的风险,同时还易造成坩埚开孔堵塞和降低蒸镀材料使用率的问题。
实用新型内容
本实用新型提供了一种坩埚,用于解决现有技术中的坩埚易产生蒸镀材料受热不均的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下的技术方案:
一种坩埚,包括坩埚本体,其中:
所述坩埚本体包括第一锅体和多个第二锅体,每个第二锅体的体积小于所述第一锅体;所述第一锅体具有开口和与所述开口相对的底面,每个第二锅体的一端与所述第一锅体的底面连接,且每个第二锅体的内部与所述第一锅体内部连通。
本实用新型提供的坩埚包括坩埚本体,坩埚本体包括第一锅体和多个体积小于第一锅体的第二锅体,每个第二锅体的一端设置于第一锅体的底面且内部均与第一锅体连通;在进行蒸镀材料的加热时,将蒸镀材料分别放置于多个第二锅体内,同时对每个第二锅体内的各部分蒸镀材料进行加热,由于蒸镀材料被分成了多份且分别进行加热,热量在每部分蒸镀材料内传导的速度大于在整份蒸镀材料内传导的速度,有利于每部分蒸镀材料的内外均匀受热,改善了蒸镀材料受热不均的问题,进而改善了部分过热的蒸镀材料产生变性、以及易造成坩埚开孔堵塞和降低蒸镀材料使用率的问题。
优选地,还包括设置于每个第二锅体的外部的加热装置。
进一步地,所述加热装置包括设置于每个第二锅体外侧的电热套。
进一步地,所述加热装置包括设置于每个第二锅体外侧的电热丝。
优选地,还包括设置于每个第二锅体外部的制冷装置。
进一步地,所述制冷装置包括设置于每个第二锅体外部的冷媒管路。
优选地,沿所述第一锅体的底面到开口的方向,所述第一锅体的与所述底面平行的截面的面积逐渐增大。
进一步地,所述第一锅体为圆台状结构,且所述第一锅体的开口所在一端的直径大于所述第一锅体的底面所在一端的直径。
优选地,所述坩埚本体还具有盖合所述第一锅体的开口的盖板,所述盖板上设有多个蒸镀孔。
进一步地,所述多个蒸镀孔在所述盖板上阵列分布。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的一种坩埚的坩埚本体的结构示意图;
图2是是本实用新型实施例提供的一种坩埚分解结构示意图;
图3是是本实用新型实施例提供的一种坩埚装配结构示意图。
附图标记:
10,坩埚本体;11,第一锅体;111,开口;112,底面;12,第二锅体;
20,电热套;21,容置孔;30,盖板;31,蒸镀孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
参见图1所示,本实施例提供了一种坩埚,包括坩埚本体10,其中:
坩埚本体10包括第一锅体11和多个第二锅体12,优选地,图1所示的第一锅体11为圆台状结构,每个第二锅体12为圆柱状结构,具体实施中,第一锅体11和第二锅体12均可采用圆台或圆柱状结构,每个第二锅体12的体积小于第一锅体11,在第二锅体12的体积减小时,由于其内部的蒸镀材料较少,导热速度较快,会提高第二锅体12内的蒸镀材料的加热速率,具体实施中,第二锅体12的体积应根据所需加热的蒸镀材料的数量和加速速率要求进行设置;具体实施中,第一锅体11和第二锅体12不限于圆台或圆柱的形状,例如,第一锅体11和第二锅体12的横截面可为三角形、四边形或多边形。
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