[实用新型]一种制备石墨烯薄膜的装置有效
| 申请号： | 201720109875.4 | 申请日： | 2017-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN206680186U | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 张恒 | 申请（专利权）人： | 河北索兰烯业新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 071050 河北省保定*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 石墨 薄膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备石墨烯薄膜的装置，其特征在于：其结构包括磁控板(1)、直流磁环(2)、高频框架(3)、控频装置(4)、光谱层(5)、离子层(6)、氧化膜层(7)，所述高频框架(3)两端设有直流磁环(2)，所述控频装置(4)两侧连接有磁控板(1)，所述高频框架(3)内部设有控频装置(4)，所述控频装置(4)包括气体管体(8)、一位电极(9)、氧化管体(10)、内框板(11)、氧化烯释体(12)、二位电极(13)，所述气体管体(8)一端连接有一位电极(9)外侧，所述一位电极(9)内侧连接有氧化管体(10)一侧，所述氧化管体(10)内部设有氧化烯释体(12)，所述离子层(6)连接有氧化膜层(7)。
2.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯薄膜的装置，其特征在于：所述一位电极(9)连接有内框板(11)内侧。
3.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯薄膜的装置，其特征在于：所述二位电极(13)连接有内框板(11)内侧。
4.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯薄膜的装置，其特征在于：所述光谱层(5)连接有离子层(6)。
5.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯薄膜的装置，其特征在于：所述光谱层(5)连接有氧化膜层(7)。
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