[实用新型]一种石英坩埚清洗装置

权利要求书

1.一种石英坩埚清洗装置，其特征在于，包括箱体和位于箱体上方的罩部，所述罩部具有活动门，所述箱体上表面安装有基板，所述罩部内具有上圆环板、下圆环板、上L型臂和下L型臂，所述上L型臂通过上L型臂支架安装在罩部顶部，所述下L型臂安装在液压缸的自由端上，所述液压缸安装在基板上，所述下圆环板通过下圆环板支架固定在所述基板上，所述下圆环板上具有圆形导轨，所述上圆环板下表面具有与所述圆形导轨啮合的圆环形凹槽，使得所述上圆环板能够在所述下圆环板上转动，所述上圆环板用于放置石英坩埚，所述基板上还安装有电机，所述电机轴上具有驱动所述上圆环板转动的摩擦辊；所述上L型臂的两个臂上均具有喷嘴，所述下L型臂的两个臂上均具有喷嘴；所述箱体内具有储液部和液体泵，每个喷嘴均与储液部连接。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗装置，其特征在于，所述罩部为透明的罩部。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗装置，其特征在于，所述活动门与所述罩部滑动连接。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗装置，其特征在于，所述上L型臂的每个臂的喷嘴数量均大于等于3个，所述下L型臂的每个臂的喷嘴数量均大于等于3个。

5.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗装置，其特征在于，所述上圆环板的上表面具有多圈同心的圆环形凸起。

6.根据权利要求5所述的石英坩埚清洗装置，其特征在于，所述上圆环板的上表面同心的圆环形凸起的圈数大于等于三圈。