[实用新型]一种石英坩埚清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚领域，具体涉及一种石英坩埚清洗装置。

背景技术

石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚在制作过程中需要经过成型、切削、清洗、烘干等步骤。清洗时需要专门的清洗设备，并且为了清洗方便，石英坩埚可能还需要进行转动等操作，现有的清洗设备有时对坩埚的转动操作不够稳定。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型旨在克服现有技术的缺陷，提供一种石英坩埚清洗装置。

技术方案：一种石英坩埚清洗装置，包括箱体和位于箱体上方的罩部，所述罩部具有活动门，所述箱体上表面安装有基板，所述罩部内具有上圆环板、下圆环板、上L型臂和下L型臂，所述上L型臂安装在罩部顶部，所述下L型臂安装在液压缸的自由端上，所述液压缸安装在基板上，所述下圆环板上具有圆形导轨，所述上圆环板下表面具有与所述圆形导轨啮合的圆环形凹槽，使得所述上圆环板能够在所述下圆环板上转动，所述上圆环板用于放置石英坩埚，所述基板上还安装有电机，所述电机轴上具有驱动所述上圆环板转动的摩擦辊；所述上L型臂的两个臂上均具有喷嘴，所述下L型臂的两个臂上均具有喷嘴；所述箱体内具有储液部和液体泵，每个喷嘴均与储液部连接。

进一步地，所述罩部为透明的罩部。

进一步地，所述活动门与所述罩部滑动连接。

进一步地，所述上L型臂的每个臂的喷嘴数量均大于等于3个，所述下L型臂的每个臂的喷嘴数量均大于等于3个。

进一步地，所述上圆环板的上表面具有多圈同心的凸起。

进一步地，所述上圆环板的上表面同心的凸起的圈数大于等于三圈。

有益效果：本实用新型的清洗装置，清洗过程中坩埚转动，并且由于多圈凸起的限位，坩埚放置稳定，能够对坩埚的内、外壁都进行全面的清洗。

附图说明

图1为清洗装置示意图；

图2为上圆环板上表面示意图。

具体实施方式

附图标记：1箱体；2罩部；3活动门；4上L型臂；5下L型臂；6上圆环形板；6.1环形凹槽；6.2圆环形凸起；7下圆环形板；7.1圆形导轨；8基板；9下圆环板支架；10上L型臂支架；11电机；12摩擦辊；13液压缸；4.1、5.1喷嘴；20坩埚；1.1储液部；1.2液体泵。

一种石英坩埚清洗装置，其特征在于，包括箱体1和位于箱体1上方的罩部2，所述罩部具有活动门，所述箱体上表面安装有基板8，所述罩部2内具有上圆环板6、下圆环板7、上L型臂4和下L型臂5，所述上L型臂4通过上L型臂支架10安装在罩部顶部2，所述下L型臂5安装在液压缸13的自由端上，所述液压缸13安装在基板8上，所述下圆环板7通过下圆环板支架9固定在所述基板8上，所述下圆环板7上具有圆形导轨7.1，所述上圆环板6下表面具有与所述圆形导轨7.1啮合的圆环形凹槽6.1，使得所述上圆环板6能够在所述下圆环板7上转动，所述上圆环板6用于放置石英坩埚20，所述基板8上还安装有电机11，所述电机轴上具有驱动所述上圆环板6转动的摩擦辊12；所述上L型臂4的两个臂上均具有喷嘴，所述下L型臂5的两个臂上均具有喷嘴；所述箱体1内具有储液部1.1和液体泵1.2，每个喷嘴均与储液部1.1连接。所述罩部2为透明的罩部2。述活动门3与所述罩部2滑动连接。所述上L型臂4的每个臂的喷嘴数量均大于等于3个，所述下L型臂5的每个臂的喷嘴数量均大于等于3个。所述上圆环板6的上表面具有多圈同心的凸起6.2。所述上圆环板的上表面同心的凸起6.2的圈数大于等于三圈。储液箱连接主管路、主管路上设置液体泵，每个喷嘴通过一个支管路连接所述主管路。箱体上表面还设置有废液收集孔，废液收集孔通过收集管路连接废液容器。

本实用新型的清洗装置，坩埚放置在上圆环形板上，由于多圈同心凸起，对坩埚起到限位作用，坩埚放置稳定，并且多圈凸起使得上圆环板可以用于放置不同口径的坩埚。下L型臂可以上下移动，用于对坩埚内壁进行清洗；所述上L型臂用于对坩埚外壁进行清洗，一边转动坩埚，一边清洗，对坩埚清洗更加全面。

尽管本实用新型就优选实施方式进行了示意和描述，但本领域的技术人员应当理解，只要不超出本实用新型的权利要求所限定的范围，可以对本实用新型进行各种变化和修改。